智东西@芯片制造“大国重器”背后的九九八十一难( 三 ) 文|韦世玮

1、北方华创：已成功研发28nm刻蚀机
成立于2001年的北方华创，前身为七星电子，当时主要布局半导体装备和精密电子元器件领域，并在2010年以高端IC装备为主营业务在深圳证券交易所上市。
直到2015年，七星电子与北方微电子开始了为期两年的重组之旅。在2017年完成内部业务和资产的整合后，七星电子正式宣布更名为北方华创科技集团股份有限公司，并推出全新品牌“北方华创” 。
完成重组后的北方华创拥有了一支50余人的高端人才队伍，逐渐在IC制造设备和先进封装等技术领域加强研发和投入。
北方华创现任董事长、CTO为赵晋荣，曾任北京建中机器厂微电子设备研究所副所长、北京建中机器厂副厂长等职务，并于2014年入选国家百千万人才工程， 2019年被授予“北京学者”称号。

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▲北方华创现任董事长、CTO为赵晋荣
【智东西@芯片制造“大国重器”背后的九九八十一难】现阶段，北方华创的主要业务布局半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件等领域，并主要分为电子工艺装备业务和电子元器件业务两大块。
其中，最主要的电子工艺装备业务在2019年实现了31.91亿人民币的营收，同比增长26.58% 。具体在刻蚀领域，北方华创的刻蚀机技术水平已发展至12英寸90-28nm制程，其14nm工艺设备也已经进入了工艺验证阶段。
据悉， 2019年北方华创还宣布募资了20亿人民币，将主要用于7nm和5nm刻蚀机的制造与研发。
2、上海微电子：16年实现90nm光刻机突破
上海微电子的创建缘起2002年，这一年光刻机被正式列入国家863重大科技攻关计划，重点研发100nm光刻机。在此背景下，国家科技部和上海市政府共同牵头，国内多家企业和投资公司投资组建了上海微电子，以承担国家863计划项目。
为了在激烈的市场竞争中拥有“造血”能力，上海微电子创始人贺荣明决定在进行100nm光刻机样机研发的同时，研发另一种能够在短期内实现产业落地的先进封装光刻机。
2009年，上海微电子的首台先进封装光刻机正式交付用户，并在2012年首次实现海外销售。
此后，上海微电子逐步在LED光刻机和前道光刻机领域加大研发投入。 2017年，该公司承担的02重大科技专项“90nm光刻机样机研制”任务通过了专家组现场测试，并在第二年通过正式验收。
人才方面，据2019年上半年数据，上海微电子拥有约1150名研发人员，占公司总员工数的76.7% 。同时，截至2018年12月，上海微电子直接持有的各类专利及专利申请已超过2400项。
现阶段，上海微电子的主要业务布局已覆盖半导体设备、泛半导体装备，以及高端智能装备，包括IC前道、先进封装、FPD面板、MEMS和LED等制造领域。
但该公司在先进制程领域仍以90nm光刻机为主，其在今年宣布突破的22nm光刻机距离落地还有较远距离。

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3、中微半导体：先进制程刻蚀设备已打入台积电产线
比北方华创晚了三年，成立于2004年的中微半导体主要涉及芯片前端制造、先进封装、LED、MEMS制造等半导体设备领域，并在2007年成功研制出首台CCP（容性耦合等离子体）刻蚀设备，成立日本及韩国子公司。
随后几年，中微半导体不断加大对CCP刻蚀设备的研发，持续迭代刻蚀设备技术，并在2018年将工艺推进至5nm领域。这一系列技术积累亦为中微半导体的成功上市奠定了基础， 2019年7月，中微半导体成功在A股科创板上市。
中微半导体所取得的成就与其创始人、董事长尹志尧息息相关。博士毕业于加州大学洛杉矶分校的尹志尧曾任职于英特尔、泛林半导体和应用材料公司，拥有二十多年的半导体开发经验，其个人在半导体领域还拥有超60项技术专利。