『』美国最惧怕的中国企业,能造出5nm蚀刻机,起诉它反遭受巨额损失
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作者:滕飞
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编辑:浅梦
如今互联网产业发展的如火如荼 , 其实完全取决于硅制造 。 所有互联网使用的芯片 , 都是来源于对硅的研制 。
那么 , 在硅制造中 , 半导体工艺属于核心工艺 , 那么在半导体工艺当中 , 又需要许许多多的软硬件设备 。
就拿其中的IC制造来说 , 它需要光刻机、蚀刻机等等核心技术装备 , 而光刻技术是其中高难度的一种 , 因为它对技术要求特别高 , 而且非常精细 。 截至目前 , 荷兰是世界上光刻技术NO.1的国家 。 而中国最领先的是蚀刻技术 。
所谓蚀刻 , 也是用化学或物理手段 , 来剥离硅片表面的无用物质 。 在对硅原料的加工中 , 刻蚀技术的难度 , 要远远低于光刻技术 , 刻蚀技术的目的 , 在于完美地保护上边的图案 。 从蚀刻技术的方法 , 又可以将蚀刻分为干法刻蚀和湿法腐蚀 。
【『』美国最惧怕的中国企业,能造出5nm蚀刻机,起诉它反遭受巨额损失】
干法刻蚀又称等离子刻蚀 , 从它的名字就可以看出它是不接触液体的 , 主要是通过提取那些置放在空气中的硅片所产生的等离子 , 然后再让这些等离子与硅片发生某种化学或物理反应 , 从而剥离暴露表面的物质 。
通过此方法产生出来的芯片 , 都是十分精细的 , 差不多是一根头发的几千分之一 , 所以干法刻蚀的技术要求 , 是特别高的 。
就拿16nm的工艺来说 , 其经过上千层的工艺 , 有60多个微观结构 。 干法刻蚀主要适用于集成电路制造 , 从其所使用的原材料 , 又可将其分为介质刻蚀、金属刻蚀和硅片刻蚀 。
湿法腐蚀就是利用化学液体 , 来剥离硅表面的物质 , 其主要适用于尺寸较大的材料 。 而中国上海的尹志尧所研发出的湿法腐蚀 , 已经占据了世界第一的位置 , 被称为“硅谷最成功的华人之一” 。
中国的湿法腐蚀技术如此纯熟 , 尹志尧功不可没 。 然而尹志尧成功的背后 , 江上舟的付出也是有目共睹的 。 江上舟对我国湿法腐蚀技术的贡献 , 是无可厚非的 , 但是他却在2011年因癌症去世 。
美国最惧怕的中国企业 , 能造出5nm蚀刻机 , 起诉它反遭受巨额损失 。 在尹志尧、江上舟等人的努力之下 , 中微终于成立了 , 但是中微却一直遭受美国的遏制 。
可以说 , 中微是遭受美国起诉最多的一家公司 , 但这屡次的起诉中 , 中国都胜诉了 。 可见 , 中国的实力是不可估量的 。
美国在经历了多次败诉之后 , 已经遭受了巨额损失 。 如今再也不敢贸然挑事 , 只能选择谈判的方式 。
中微之所以成功 , 是因为中微的保密协议、专利申请、找到雷区、专利保护以及遵守法律这五点 。 而且 , 目前上微和北微也在续存实力当中 , 所以 , 中国超越西方 , 是指日可待的 。
来源:搜狐网
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