晶盛机电的单晶炉是半导体设备吗

智通财经APP获悉,9月15-16日,晶盛机电(300316.SZ)在接受调研时表示 , 公司是一家国内领先的高新技术企业,围绕硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料展开 。公司产品在晶体生长、切片、抛光、外延等环节已实现8英寸设备的全覆盖,12英寸长晶、切片、研磨、抛光等设备也已实现批量销售;公司目前已成功生长出全球领先的700Kg级蓝宝石晶体,并实现300Kg级及以上蓝宝石晶体的规模化量产;公司已成功生长出行业领先的8英寸碳化硅晶体,并建设了6英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光环节的研发实验线 。此外,公司第五代新型单晶炉即将于2023年重磅上市,为行业注入全新动力 。2022年上半年 , 公司半导体设备订单持续增长,截止2022年6月30日,未完成半导体设备合同22亿元 。
晶盛机电是一家国内领先的高新技术企业,围绕硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料展开 。在硅材料领域,公司专注于光伏和集成电路领域两大产业的系列关键设备和核心的辅材耗材;在半导体8-12英寸大硅片设备领域 , 公司产品在晶体生长、切片、抛光、外延等环节已实现8英寸设备的全覆盖,12英寸长晶、切片、研磨、抛光等设备也已实现批量销售;蓝宝石材料方面 , 公司大尺寸蓝宝石晶体生长工艺和技术已达到国际领先水平 , 目前已成功生长出全球领先的700Kg级蓝宝石晶体 , 并实现300Kg级及以上蓝宝石晶体的规模化量产 。
碳化硅材料方面,公司已成功生长出行业领先的8英寸碳化硅晶体,并建设了6英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光环节的研发实验线 。在辅材耗材领域,公司高品质大尺寸石英坩埚在规模和技术水平上均达到了行业领先水平,在半导体和光伏领域取得了较高的市场份额 。同时,公司在金刚线领域实现了差异化的技术突破 。此外 , 公司开发的第五代单晶炉主要是基于光伏产业链下游客户对差异化创新的需求 。第五代新型单晶炉即将于2023年重磅上市,为行业注入全新动力 。
报告期内,公司半导体装备订单量实现同比快速增长;加速第三代半导体材料的布局,实现大尺寸碳化硅晶体制备的重大突破;公司积极开发光伏创新性设备,加快先进耗材扩产布局,积极推动度电成本下降;加强光伏设备的市场开拓,进一步提升技术服务品质,提产增效,积极推进在手订单的交付及验收工作,实现营业收入规模及经营业绩同比大幅增长 。报告期内,公司实现营业收入43.7亿元,同比增长91.02%,净利润12亿,超过100%,其中设备及服务营业收入35.7亿元 , 同比增长83.78%;材料业务营业收入5.5亿元,同比增长144.00% 。截至2022年6月30日 , 公司未完成设备合同总计230.40亿元,其中未完成半导体设备合同22亿元 。截止今年上半年公司在手订单金额达到230亿元,对于公司产能能否满足需求 。公司表示,目前公司的产能能够满足客户订单需求 。
单晶炉的操作流程是什么?基本原理:多晶体硅料经加热熔化 , 待温度合适后 。经过骸籽晶浸入,熔接,引晶 , 放肩,转肩,等经,收尾等步骤,完成一根单晶锭的拉制 。
金属单晶,由于所有的真空系统都会存在漏气,所以如果空气对骇体的质量影响较大就要采用气氛保护 。我生长单晶的时候用的是高纯Ar , 生长时大概有十几个大气压吧 。生长气氛主要还是根据你具体生长的材料和你设备可以保持的真空度而定,如果你的炉子保压不是很好,而且设计当中也可以承受一定的正压就建议使用正压生长 。
直拉单晶硅生产过程中的拆炉流程是在收尾完成后停炉6个小时左右的时间进行的,正常情况下是取出晶体,对炉内的挥发物进行清除,并用酒精擦洗 。检查热?。ㄊ??型搿⒓尤绕鳌⒌缂?龋┦欠裾?#?并根据生产炉次对机械真空泵进行清洗换油 。然后进入下一炉的生产流程:装料---抽真空----化料----拉制----停炉---拆炉 。
单晶炉进行以下操作:
清炉、装炉
抽空、充气、预热
化料、引晶
生长细颈
扩肩及氮气的充入
【晶盛机电的单晶炉是半导体设备吗】
转肩、保持及夹持器释放
收尾、停炉 清炉、装炉
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备 。
单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速, 坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响 。其中温度主要决定能否成晶,而速度将直接影响到晶体的内在质量,而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知 。
温度分布合适的热场,不仅单晶生长顺利 , 而且品质较高,如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶 。