sccm和ml/min sccm和ml/min的关系( 四 ) _知识分享

如果您使用的产品是标准的工厂产品（按氮气校准显示），当需要知道实际使用的气体的质量流率时，首先，在产品说明书中找到实际气体的换算系数。在测量过程中，将该系数乘以流量显示值，即为实际使用气体的质量流量；反之，当确定购买产品的范围时，将实际使用的气体的最大预期流量除以换算系数，即相应氮气校准产品的流量值。
空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体，其换算系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气校准显示的产品，没有转换。
17. 不同气体的流量换算系数是如何得到的? 如何计算混合气体的换算系数?
气体流量转换系数理论上取决于标准状态下气体的密度和比热, 和气体的分子组成系数。常用的单组分气体，转换系数可在制造商的产品说明书中找到；如果气体的密度和比热已知, 也可以通过以下基本公式计算。
气体质量流量转换系数C的基本公式：
C=0.3106 N /ρ(Cp)
其中： ρ——是气体的密度
CP——是气体在恒压下的比热
N ——是气体分子组成系数（它与气体分子的组成有关, 见下表）
气体分子组成系数表
气体分子组成举例 N 取值
单原子分子 Ar He 1.01
二原子分子 CO N2 1.00
三原子分子 CO2 NO2 0.94
多原子分子 NH3 C4H8 0.88
如果是多组分混合气体（假定由n物种气体成分），根据以下公式计算转换系数C：
0.3106 [N1 (ω1/ωT )+N2 (ω2/ωT ) + ??? + Nn (ωn/ωT )]
C = ————————————————————————
ρ1Cp1 (ω1/ωT )+ ρ2Cp2 (ω2/ωT )+ ??? + ρnCpn (ωn/ωT)
其中 : ω1 …ωn ——是相应气体的流量
ωT ——是混合气体的流量
ρ1…ρn ——是相应气体的密度 (数值见产品技术规范)
CP1…CPn ——是相应气体在恒压下的比热 (数值见产品技术规范)
N1 … Nn ——是相应气体的分子组成系数
注意: 如果混合气体的混合比不固定, 无法计算转换系数。
18. MFM/MFC使用时有什么注意事项？
(1)注意产品说明书和相关资料
(2) 小心轻放，确保安全
MFM/MFC相对精确，避免撞击和强烈振动。产品不使用时，请将其保存在良好的环境中。
(3) 注重制度设计
用户购买MFM/MFC后，通常有必要建立一个系统。建议在系统设计中，不要只考虑功能的实现，还要考虑系统的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易于维护﹑扩展性和其他因素。以下是一些具体的建议：
A. 注意加滤镜，净化气源，延长MFM/MFC的使用寿命。
B. 对于反应系统，建议在MFC的出气端加装单向阀，从而防止异常情况下反应物的回流破坏 MFC 。
C. 对于高压系统，应在MFC背压阀安装在下游（或其他节流装置）和压力计，以便确保MFC工作压差。
D. 对于暴露在空气中时容易形成晶体的气体，例如硅烷，特别注意系统的紧密性（检漏时不要忽视减压器），必要时设计吹扫旁路，随时进行氮气吹扫或正压维护。
E. 对于要求高的气路系统, 注意气路接头的减少和采用VCR等接头。对于使用有害气体的系统，必须严格检漏。气体柜应该有排气系统, 防止人员和设备受损。
F. 带有高频源的系统应进行屏蔽，并特别注意处理接地问题，例如采用单点接地。
G. MFM/MFC的安装位置应易于装卸﹑检测﹑调零，且安全可靠。
H. 要求高可靠性的系统，应注意冗余设计。
(4) 注意正确使用操作
对于比较复杂的系统或使用有害气体的系统，应制定完善的安全操作规程, 防止误操作。
(5) 注意使用与气体相适应的流量计密封材料
我厂生产的流量计的密封材料通常是氟橡胶，可用于大多数气体，包括HCL这样的强腐蚀性气体。但是对于氨气，必须使用耐氨橡胶；对于有机溶剂气体，如丙酮、甲苯等，必须使用硅橡胶；对于使用三氯化硼、强腐蚀性介质，如三溴化硼，必须使用四氟乙烯密封或金属密封的流量计。用户在订货和使用中必须特别注意。
(6) 注意定期校准
原则上，质量流量计应定期校准。
19. 我可以自己改吗MFM/MFC的量程？换音域要注意什么？
更改MFM/MFC需要为测量范围更换分流阀端口等零件, 还要进行量程标定, 因此，用户不能自己更改量程。一般情况下，换量程应在厂家或指定的维修站进行。如果你觉得范围没有被选中，应与供货商和厂家联系。
改MFM/MFC量程时, 还要注意你的流量指示器是否要调整。如果交通堵塞百分比方式显示的，显示仪器不需要改变；如果交通堵塞SCCM或SLM显示的，一般来说，应该调整流量指示器，以适应新的流量范围。流量指示器可能无法调整，只有流量显示值乘以校正系数进行校正: