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MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术 。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及多元固溶体的薄层单晶材料 。一般MOCVD设备都具有手动和微机自动控制操作两种功能 。
mocvd是什么意思？MOCVD是一种基于VPE原理的新型气相外延生长技术 。MOCVD是一种以III-II族元素的有机化合物和V、VI族元素的氢化物为晶体生长源材料，在衬底上通过气相外延生长各种III-V主族、II-VI亚族化合物半导体和多元固溶体的薄层单晶材料 。
一般MOCVD设备有手动操作和微机自动控制操作两种功能 。
Mocvd是什么意思CVDMOCVDMOCVD是金属有机化合物化学气相淀积me

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