探针台三个探针这么扎 _探针台的探针台简介

探针台三个探针这么扎测点
(1) 显微镜最小倍数物镜下找到待测点（或附近的位置），使待测点成像清晰。
(2) 确认定位器XYZ三轴均中间行程位置（即各轴导轨端面螺丝对齐）。Z轴也可略向上错开3mm左右。
(3) 安装并调节好探针的高度，侧向平视，观察探针与样品台（或样品）间的距离（大概5mm，或略小于5mm）。
可通过调节探针臂或探针臂适配器的高度进行粗调定位。）
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(4) 移动定位器，将所有探针移动至显微镜光斑下。此时通过目镜观察可看到探针的虚影（探针成像未实体化）。
(5) 操作定位器XYZ旋钮，将探针定位至待测点上方。此时，可调节Z轴尽量将探针靠近待测点，但不要将探针扎到待测点上（探针未实体化）。
(6) 向上拨动显微镜气动升降开关，将显微镜抬升至最高后，切换至目标放大倍数。向下拨动开关，将显微镜复原至原来位置。
[注意]显微镜缓慢下降的过程中，若观察到物镜与周围的配件干涉，应当立即向上拔动开关，使显微镜抬升。排除干涉后再把显微镜复位。
(7) 操作XYZ定位旋钮，将探针准确定位至待测点上方。慢慢调节Z轴，缓降下探针。探针两侧虚影与针尖重叠时，探针即接触样品待测点。为确保良好的接触，可略微过压探针，观察到探针略向前移动即停止
探针台的探针台简介探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动
从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（超低温探针台），RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台根据客户需求定制
chuck尺寸：4*4 6*6 8*812*12 (可选）
X-Y移动行程：4*4 6*6 8*812*12(可选）
chuck Z轴方向升降10mm（选项）方便探针与样品快速分离
显微镜：金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜（可选）
显微镜移动方式：立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型（可选）
探针座：有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关
可搭配Probe card测试
适用领域：晶圆厂、研究所、高校等 chuck尺寸800mm/600mm
X,Y电动移动行程200mm/150mm
chuck粗调升降9mm，微调升降16mm
可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数6～8颗
显微镜X-Y-Z移动范围2x2x2
可搭配Probe card测试
适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品 chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）
X,Y电动移动行程300mm x 300mm
chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数8～12颗
显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“
材质：花岗岩台面+不锈钢
可搭配Probe card测试
适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品机械手臂取放片
电动、键入坐标寻位置
量测尺寸（mm）：1800