微米光治疗仪主要治疗什么？( 四 ) _微米技术有什么用有什么作用和功能？

化学气相沉积或电铸沉积图 ’ 平面工艺的基本过程：在硅片上涂光刻胶、曝光、
显影，然后把胶的图形通过刻蚀或沉积转移到其他材料
平面工艺是最早开发的，也是目前应用最广泛
的微纳米加工技术- 平面工艺之所以不同于传统机
械加工是因为：（’）微纳米结构由曝光方法形成，而
不是加工工具与材料的直接相互作用- 所以限制加
工结构尺寸的不是加工工具本身的尺寸，而是成像
系统的分辨率，例如光波的波长，激光束，电子束或
离子束直径；（$）平面工艺一般只能形成二维平面
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微纳米加工技术专题
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结构，或准三维结构，而不是真正的三维系统& 平面
工艺形成的三维结构是通过多层二维结构叠加而成
的；（.）平面工艺形成的是整个系统，而不是单个部
件& 由于每个部件如此之小，根本无法按传统的先加
工分立部件然后装配成系统的途径& 所以系统中的
每个部件以及它们之间的关系是在平面加工过程中
形成的&
平面工艺产生于 /0 世纪 10 年代集成电路的开
发& 半导体晶体管由分立到集成就是基于平面工艺&
集成电路制造的平面工艺概括起来为 2 个基本方
面［/］
：
（3）薄膜沉积（(*456),7）& 包括各种氧化膜，多
晶硅膜，金属膜等& 金属连线，晶体管栅极，掺杂掩
模，绝缘层，隔离层，钝化层等是集成电路的基本组
成部分&
（/）图形化（#*""56,),7）& 所谓图形化是在硅基
底和沉积的薄膜上形成各种电路图形& 这包括光刻
和刻蚀两个方面& 更确切地说，图形化是集成电路微
纳米加工的核心& 集成电路的结构是通过图形化实
现的& 集成电路发展的历史也是平面图形化技术不
断进步的历史&
（.）掺杂（89#),7）& 晶体管的载流子区通过掺
杂形成，掺杂包括热扩散掺杂和离子注入掺杂&
（2）热处理（*,,5*(),7）& 离子注入后通过热处
理可以恢复由离子轰击造成的晶格错位，热处理也
可以使沉积的金属膜与基底合金化，形成稳固的导
电层&
平面微纳米加工技术虽然主要应用于集成电路
制造，但近年来微系统技术中也大量应用平面工艺
制作各种微机械、微流体和微光机电器件等& 例如，
图 / 是美国 :;<=>; 国家实验室通过平面工艺制作
的多齿轮传动系统& 从表面来看，它与传统机械加工
形成的齿轮传动系统没有什么区别& 但这里的每个
齿轮的直径不超过 3??& 即使当今最先进的精密机
械加工技术也无法制作这样微小的齿轮& 它是通过
多层多晶硅沉积与刻蚀形成的& 而且各个齿轮以及
它们的传动配合关系是通过巧妙的设计与硅平面工
艺的结合一次做成的& 微系统所需要的加工技术除
了没有掺杂工艺外与集成电路的平面加工技术基本
相同& 但由于某些微系统特殊功能的需要，其结构尺
寸一般远大于集成电路的结构尺寸& 因而产生了某
些适用于微系统的特殊平面工艺，例如厚胶曝光、电
铸工艺、硅深刻蚀工艺以及制作微光学元件的灰度
曝光工艺等&
图 / 美国 :;<=>; 国家实验室利用多层硅平面工艺
微米光治疗仪光治疗仪原理--------------------------------------------------------------------------------波长范围在1.0-1.8um的红外光在大功率输出时，能在较短的时间内促使病变组织蛋白质固化，坏死，并产生一系列良性反应，促使新的鳞状上皮细胞生成，恢复创面，从而达到治愈的目的，各期宫颈糜烂一次治愈率可达98% ，愈后不留疤痕，表面光滑，恢复弹性。在低功率照射时，可导致末稍神经兴奋，起到止痛作用，并可促使血管扩张，血流加快，改善微循环，促进炎症消散，达到治愈的目的，如治疗五官科、皮肤科、乳腺科、肛肠科等体表粘膜组织病变。电灼器利用高频电流和金属触针，靠近人体病灶，使触针与组织的极小气隙中形成极高的电场强度使气体分子电离，瞬间产生3000℃左右温度的等离子火焰，使病变组织气化而消失，同时，由于气化层下面还有薄薄的凝固层，可阻止出血，保护表层组织，使伤口迅速愈合。适用于尖锐湿疣、息肉、包皮切割等小型手术。