微米光治疗仪主要治疗什么？( 三 ) _微米技术有什么用有什么作用和功能？

移动通信工具和花样翻新的家用电器已随处可见& 除
了集成电路之外，微型化技术导致了微系统的发展，
开发出直径只有 5<< 的微马达，指甲大小的微摄像
头，豌豆大小的气相色谱分析装置，芯片上的光学平
台和化学分析实验室等& 如果说集成电路芯片提供了
一个系统的思考与决策的大脑，微系统技术则以各种
微传感器与微执行器提供了系统的感官、手与脚& 系
统微型化成为今后现代工业发展的必然趋势& 如果按
微型化的尺度衡量，集成电路技术与微系统技术还属
于微米技术& 自 E5 世纪以来，由半导体微电子技术引
发的微型化革命进入了一个新的时代，这就是纳米技
术时代& 从微米到纳米的过渡不仅仅是量的过渡而且
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"# 卷（$%%& 年）’ 期 ())*：++,,,- ,./0- 12- 23
代表了质的跃迁- 材料与结构在 ’%%34 以下显现出不
同于宏观世界的性质- 纳米科技为人类展现了微观世
界的新天地- 从晶体管到集成电路，从微电子到微机
械与微流体，从微米技术到纳米技术，微纳米技术已
经成为当今高科技的代名词无论是集成电路技术，还是微系统技术或纳米
技术，其共同的特征是功能结构的尺寸在微米或纳
米范围，因此可以统称为微纳米技术- 微纳米技术依
赖于微纳米尺度的功能结构与器件- 实现功能结构
微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术- 在过去
的 #% 年中，正是微纳米加工技术的发展促进了集成
电路的发展，导致集成电路的集成度以每 ’5 个月翻
一番的速度提高- 现代微纳米加工技术已经能够将
上亿只晶体管做在方寸大小的芯片上- 最小电路尺
寸为 6%34 的集成电路芯片已经开始大规模生产-
" 的集成电路芯片已开始小批量工业化生产，而
7#34 加工水平的集成电路已经在研发阶段- 除了集
成电路芯片中的晶体管越做越小，微纳米加工技术
还可以将普通机械齿轮传动系统微缩到肉眼无法观
察的尺寸- 微纳米加工技术可以制作单电子晶体管，
可以实现单个分子与原子操纵- 微纳米加工技术可
以建筑人类进入微观世界的桥梁，是人类了解和利
用微观世界的工具- 因此了解微纳米加工技术对于
理解微纳米技术，以及由微纳米技术支撑的现代高
科技产业是非常重要的-
$ 微纳米加工技术的分类
自人类发明工具以来，加工是人类生产活动的
主要内容之一- 所谓加工是运用各种工具将原材料
改造成为具有某种用途的形状- 一提到加工，人们自
然会联想到机械加工- 机械加工是将某种原材料经
过切削或模压形成最基本的部件，然后将多个基本
部件装配成一个复杂的系统- 某些机械加工也可以
称为微纳米加工- 因为就其加工精度而言，某些现代
磨削或抛光加工的精度可以达到微米或纳米量级但本文所讨论的微纳米加工技术是指加工形成的部
件或结构本身的尺寸在微米或纳米量级- 微纳米加
工技术是一项涵盖门类广泛并且不断发展中的技
术- 在 $%%7 年国际微纳米工程年会上，曾有人总结
出多达 &% 种微纳米加工方法- 可见实现微纳米结构
与器件的方法是多样的- 本文不可能将所有微纳米
加工技术一一介绍- 对这些加工技术的详细介绍目
前已有专著出版［’］
- 笔者在此仅将已开发出的微纳
米加工技术归纳为三种类型作概括性的介绍-
!- " 平面工艺
以平面工艺为基础的微纳米加工是与传统机械
加工概念完全不同的加工技术- 图 ’ 描绘了平面工
艺的基本步骤- 平面工艺依赖于光刻（/0)(89:1*(;）
技术- 首先将一层光敏物质感光，通过显影使感光层
受到辐射的部分或未受到辐射的部分留在基底材料
表面，它代表了设计的图案- 然后通过材料沉积或腐
蚀将感光层的图案转移到基底材料表面- 通过多层
曝光，腐蚀或沉积，复杂的微纳米结构可以从基底材
料上构筑起来- 这些图案的曝光可以通过光学掩模
投影实现，也可以通过直接扫描激光束，电子束或离
子束实现- 腐蚀技术包括化学液体湿法腐蚀和各种
等离子体干法刻蚀- 材料沉积技术包括热蒸发沉积，