0.05um氧化铝抛光粉目数( 二 ) _氧化铝为什么可以做抛光粉呢

2）表面质量改善，a-氧化铝与基底蓝宝石的硬度一样，因此，磨料划伤蓝宝石的可能性很小。
3）去除速率增加，a-氧化铝磨料经历了与基底蓝宝石一样的表面水化，在基底宝石与磨料水化层之间的化学机械作用加速了材料去除，当磨料和基底蓝宝石的表面在抛光压力下靠在一起并剪切时，就相互粘附，进一步的剪切就会使粒子撕开键合的水化层，通过粒子的前边沿促进材料去除。表面粗糙度能小于0.2nm.
4）氧化铝抛光液在循环过程中稳定性更好，二氧化硅抛光液在使用过程中温度必须严格控制，以防止结块，但氧化铝研磨液就比较稳定，也显示了很好的洁净度。
实验1：采用氧化铝抛光粉对蓝宝石衬底进行抛光，抛光液的pH为10时抛光效果最好，表面粗糙度RMS可达0.2nm 。抛光压力在0. 12Mpa 至0. 15Mpa，抛光液浓度为10%时较佳。浓度越高，抛光速率越快。
目前很多领先的蓝宝石加工厂正在评估并使用基于氧化铝研磨液用于更大直径晶圆抛光。
参考资料：
http://www.bml