(5) 离子传输泵:它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下 , 输送到出口的一种动量传输泵 。
气体捕集泵
这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上 , 从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵 , 有以下几种型式 。
吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵
吸气剂泵:它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵 。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金 。升华泵即属于这种形式 。
吸气剂离子泵:它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上 , 以达到抽气的目的 。它有如下几种型式 。
(1)蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上 , 以实现抽气的一种真空泵 。
(2)溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上 , 以实现抽气目的的一种真空泵 。
低温泵:利用低温表面捕集气体的真空泵
按其真空度可以分为:粗真空、高真空、超高真空三大类 。
粗真空系
主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体 。广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中 。该型泵具有真空度高、结构简单 , 使用方便、工作可靠、维护方便的特点 。
主要用于粗真空 。抽气量大的工艺过程中 。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀 , 不溶于水 , 含有少量固体颗粒的气体 , 以便在密闭容器中形成真空 。所吸气体中允许混有少量液体 。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中 。
是获得粗真空的主要真空设备之一 。广泛应用于化工、食品、建材等部门 , 特别是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜 。
无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品 , 是获得粗真空的主要设备 。由于采用全密封装置 , 实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离;加上活塞环使用了自润滑材料 , 便实现了先进的无油润滑 。由于无污水排放 , 所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中 。
高真空系
滑阀式真空泵
(Rotary Piston Vacuum Pump)
广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中 。
滑阀真空泵可单独使用 , 也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用 。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时 , 需附加装置 。优点:相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大 , 价格相对高一点 。
用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一 。它可以单独使用 , 也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用 。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理 , 真空干燥等工艺过程中 。
真空泵
旋片式真空泵
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有结构紧凑 , 体积小 , 重量轻 , 噪音低 , 振动小等优点 。所以 , 它适用于作扩散泵的前级泵 , 而且更适用于精密仪器配套和实验室使用 。例如:质谱仪器 , 冰箱流水线 , 真空冷冻干燥机等 。
罗茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是一种旋转式变容真空泵 , 须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内 , 有较大的抽速 , 对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感 。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业 。主要用于真空机组的主泵 , 需要用前级泵辅助 。如:水环式真空泵 , 滑阀真空泵 , 立式无油真空泵 , 分子真空泵等 。国内最大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S 。
活塞真空泵运行性能有哪些要求?活塞真空泵运行性能的要求有以下几点内容(普诺克提供的)
1.轴承合金应与瓦壳贴合良好、牢固 , 不得有裂纹、气孔、分层等缺陷
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