中芯国际迎来久违的好消息:订购12亿美元光刻机

中芯国际迎来了久违的好消息:可从阿斯麦(ASML)订购12亿美元的光刻机 。

中芯国际迎来久违的好消息:订购12亿美元光刻机
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订购12亿美元光刻机
3月3日晚间 , 中芯国际披露 , 公司于2月1日与阿斯麦(ASML)上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议 , 将采购协议的期限延长一年至2021年12月31日 。 根据批量采购协议 , 公司已就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品(即光刻机)与阿斯麦集团签订购买单 , 订单金额12亿美元 。
阿斯麦(ASML)即荷兰阿斯麦 , 是全球最大的半导体设备制造商之一 , 主要业务为光刻机的研发和生产 , 在全球处于绝对领先地位 。 具体来看 , ASML在45nm以下制程的高端光刻机市场中占有85%的份额;在EUV(极紫外)光刻机领域则处于绝对垄断地位 , 市场占有率100% 。
目前 , ASML的EUV光刻机主力出货型号是3400B , 价格约1.2亿美元 , 其最新款的3600D定于2021年中旬出货交付 。
是否包含EUV光刻机?
中芯国际迎来久违的好消息:订购12亿美元光刻机】众所周知 , EUV光刻机是生产5nm芯片必不可缺的设备 。 那么 , 中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机 , 包含EUV光刻机吗?
采访人员从业内资深人士处了解到 , 除了EUV光刻机 , 中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机 , 包括DUV(深紫外)光刻机 。
此前 , ASML的CFO在财报会议的视频采访中表示:如果宽泛地理解相关规则对AMSL的整体意义 , ASML将能够从荷兰向中国客户(包括中芯国际)提供DUV光刻系统 , 且无需出口许可证 。 不过 , 如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统 , ASML则需要为此申请出口许可证 。
在DUV光刻机方面 , ASML的最新一代产品型号是NXT2050i 。 公开资料显示 , ASML于2020年第三季度对第一台TWINSCANNXT2050i进行了质量认证 , 并于第四季度初发货 。 由于对掩模版工作台、晶圆工作台、投影物镜和曝光激光器的技术改进 , NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制 , 具有更高的生产率 。
公开报道显示 , ASML的上一代DUV产品NXT2000i光刻机 , 光刻精度可以达到1.9nm , 远低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度 。
第一季度营收预计超10亿美元
在近期接受机构调研时 , 中芯国际联合首席执行官赵海军表示 , 目前公司依然是满载运营 , 预计今年第一季度营收会回到10亿美元以上 。
此前 , 中芯国际预计 , 2021年全年营收成长在中到高个位数 。
产能紧缺已经成为半导体业内共识 。 赵海军表示 , 公司会继续扩产 , 预计12英寸月产能增加1万片 , 8英寸月产能增加不少于4.5万片 , 但由于设备采购周期长 , 预计扩产产能对今年营收贡献不大 。
此外 , 在先进制程方面 , 赵海军强调 , 公司将保障生产连续性 , 继续与供应商推进出口许可证的申请;也会考虑加强第一代、第二代FinFET多元平台开发的布建 , 并拓展平台的可靠性及竞争力 。