常用标准漏孔的两种校准方法
原标题:常用标准漏孔的两种校准方法
深圳华尔升智控技术有限公司专业从事研发、设计、生产、销售、维护、咨询氦质谱检漏仪的企业 , 是一家具有自主知识产权和持续创新能力 , 经营业绩稳定增长的高科技企业 。 下面由华尔升小编为你介绍下标准漏孔的两种校准方法 。
标准漏孔是在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件 。 一般要明确这个气流量(即漏率)的气体种类、温度、压力等条件 。 如果不特别指明 , 则指温度为296±3K、入口压力为1.01×105Pa、出口压力低于1.33×103Pa的干燥空气(其漏点温度低于248K)的漏率 。
标准漏孔的常用校准方法有定容升压法和氦质谱检漏仪比较法:
(1)定容升压法
定容升压法校准系统示意图如下图所示 。
文章图片
经预抽并烘烤容积V后 , 标准漏孔进气端压力p1<1.33×103Pa , 而V达到极限真空 。 当压力为1.01×105Pa的校准气体(如N2气)经标准漏孔流进容积V , 并在V中压力p2稳定后 , 关闭阀门S2记录时间和环境温度T , 测出对应Δt时间的升压Δp2则标准漏孔漏率为式(10) 。
(2)氦质谱检漏仪的比较法
氦质谱检漏仪比较法校准系统如下图所示
文章图片
在检漏仪工作条件不变的前提下 , 先后测出已知漏孔L1和待校漏孔L2的进气氦压和讯号 , 则待校标准漏孔的漏率为式(11) 。 qL , 01-已知标准漏孔L1的漏率;p1 , p2-分别为L1、L2漏孔进气端氦压;I1 , I2-分别为L1 , L2漏孔的输出讯号;I0-检漏仪本底 。
【常用标准漏孔的两种校准方法】
文章图片
- 鹿晗被问3个择偶标准,现场回答尽显高情商,求生欲望太强烈
- 为什么装修公司报价差别很大?100平米房子装修标准报价明细
- 大众王牌SUV登场,1.4T发动机国六标准,油耗也就7L
- 绿豆能酿酒吗,绿豆酒制作方法
- 三部门联合印发实施《关于以标准化促进餐饮节约反对餐饮浪费的意见》
- ppr管的检验标准有哪些,你知道吗?
- 直线振动筛常用的六大轴承及其特点
- 最新身高标准表出炉:因为家长的无知,一半孩子没长到遗传身高
- 云端问仙技能搭配指南 常用流派技能怎么搭配
- 中俄疫苗在全球广受欢迎,白宫却鸡蛋里挑骨头:称不符合美国标准