2021-01-20 芯片 光刻机 西湖大学 光刻胶

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2020-12-17 西湖大学

作为一家医疗器械企业，企业在生产中对温度、湿度、粉尘等环境有很高要求，因此必须建设“洁净车间”。但“洁净车间”对厂房的层高、承重都有特殊要求，对当时刚刚落户的键嘉...

2020-12-07 核心技术 西湖大学

要想光刻技术做出突破，就必须两个核心技术同时进步。终于就在近期，西湖大学传出了一条令人振奋的信息。相信人们都见过精美的冰雕展品，各式各样的动物、宫殿被冰雕大师雕刻...

2020-12-06 研究团队 西湖大学

先在光刻胶上刻出相应的纹路，随后再将其覆盖到需要的位置上，刻上内容后利用化学试剂洗掉光刻胶，便成为了芯片的基础。因此我国的光刻胶长期面临西方垄断的局面，即便此前有...

2020-12-04 西湖大学

电子束光刻技术是微纳加工的核心技术之一，而光刻胶是加工过程中非常关键的材料。要在硅晶片上进行纳米尺度的加工，首先要将光刻胶均匀涂抹在晶片表面；用电子束在真空环境中...