光刻机|国产芯片的崛起,中企迎来技术突破!绕开顶级光刻机,试产7nm
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【光刻机|国产芯片的崛起,中企迎来技术突破!绕开顶级光刻机,试产7nm】
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近年来 , 美国一直在利用各种方法打压中国半导体产业 , 2020年更是直接切断了华为的芯片供应链 。
面对芯片领域处处受制的局面 , 我国开始加大自主芯片的研发力度 , 中科院更是宣布集结全院之力攻克光刻机等技术难题 , 帮助中国企业摆脱“卡脖子”的命运 。
在全国上下为同一个目标奋斗的情况下 , 国产芯片终将崛起 。
令人欣慰的是 , 近日中国芯片企业传来技术突破的好消息 。 12月4日 , 中芯国际在互动平台上回答了投资者提出的问题 , 根据中芯国际的回复内容可知 , 该公司第一代FinFET 14nm已经于2019年第四季度进入量产;第二代FinFET已经进入小量试产阶段 。
14nm进入量产一事业内众所周知 , 华为还曾在美国下达第二层禁令后 , 将部分14nm订单交付给中芯国际 。 至于第二代FinFET , 是中芯国际的最新成果 , 该工艺在性能上相当于7nm芯片 。
值得注意的是 , 第二代FinFET是在中芯国际绕开顶级EUV光刻机的情况下研发出的芯片制造工艺 。
资料显示 , 对于7nm及以下高精度工艺的研发而言 , EUV光刻机相当重要 , 早在2018年中芯国际便曾斥巨资向ASML下单了一台EUV光刻机 。
不过 , 受美国政府的影响 , 荷兰政府限制垄断全球的光刻机巨头ASML向中国市场出口EUV光刻机 。 所以时至今日 , 这台光刻机仍未到货 。
如今美方禁令更加严格 , 中芯国际短时间内更不可能获得EUV光刻机 。 但这家大陆第一芯片代工厂并没有因此止步不前 , 而是在半导体领域大佬梁孟松的指导下 , 顺利绕过EUV光刻机 , 实现了类7nm工艺的量产 。
此外 , 10月份全球首个基于中芯国际第二代FinFET N+1工艺的芯片在芯动科技的助力下完成流片和测试 , 所有IP均为自主国产 , 功能更是一次性测试通过 。
绕开EUV光刻机的操作的确值得借鉴 , 但接下来更高精度工艺的研发过程中 , 没有高端光刻机可能会寸步难行 , 这是中芯国际面临的严峻挑战之一 。
此外 , 虽然N+1工艺绕开了EUV光刻机 , 但在性能方面的提升依旧略有不足 , 所以目前N+1工艺只能面向低功耗应用领域 。
由此可见 , 国产芯片崛起路上有着无数艰难险阻 , 谁也不知道下一个难题会在哪个阶段出现 。 但可以肯定的是 , 在历史经验丰富的中国人民面前 , 没有完不成的任务 。
文/谛林 审核/子扬 校正/知秋
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