高纯度|中国又一重大技术突破国产芯片有了它,再也不用受制于日本厂家
想必去年日本对韩国进行经济制裁,限制向韩国出口三种半导体生产原料:含氟聚酰亚胺、光刻胶及高纯度氟化氢,这些事情还记忆犹新,日本之所以敢禁售,是因为日本自信,除了日本以外,没有国家掌握相关的技术。当然,也包括中国在内。
被日本掐住芯片蚀刻咽喉,中国如今掌握技术,开始反攻全球市场
【 高纯度|中国又一重大技术突破国产芯片有了它,再也不用受制于日本厂家】
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最近我国宣布,由中国化工黎明化工研究设计院所承担的国家科技重大专项实现了重大突破,
实际上通过互联网查询,我国其实早已经掌握了生产四氟化碳和六氟化硫的工艺,其实几十个国家都能够掌握这样的工艺,但是核心在于“高纯度”三个字。
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以韩国被限制的高纯度氢氟酸为例,国内厂商多氟多之前销售的UL级氢氟酸价格6300元,UP-SSS电子级却达到12000元;四氟化碳也差不多,30L电子级的价格报价就是4000元。价格跟普通UL的比,完全不在一个量级。
那么高纯度的四氟化碳主要用来做什么?
实际上主要用于芯片制造的等离子蚀刻,主要用于硅二氧化硅,氮化硅、磷硅玻璃以及薄膜材料的蚀刻,电子零件的表面清洗也是用四氟化硅。此外,在光伏电池生产激光技术,甚至包括卫星火箭都要使用,因为四氟化硅在控制火箭的姿态方面,具有决定性作用。
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市场规模仅仅百亿,民营企业研发热情有限,政府不得不专项投资研发
之前中国用的4氟化碳主要是采购于日本,我们知道日本在高纯度气体方面处于全球领先地位,仅仅日本关东电化工业的四氟化碳全球占比就高达到40%。
此次我国黎明院预计可以实现电子级四氟化碳和六氟化硫的产能2000吨,完全实现对日本的进口替代。
可能很多人要问了,为什么国内很少有企业研发高纯度的气体?
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这就不得不说到,高纯度气体的应用,高纯度的气体应用市场相对狭隘,主要是芯片制造领域。
虽然全球半导体市场规模日渐扩增,尤其是中国最近几年大量投产芯片制造工厂,但是总体上来说,集成电路用的电子气体市场规模仍然较小,全球目前规模也就不到400亿人民币,而中国的市场规模合计才130亿人民币,整个市场盘子太小,资本的热衷程度不高。
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其次是电子级的气体对生产、运输和储存的要求过高,导致投资成本高居不下,加上市场规模有限,资本的兴趣度大打折扣。而且对于企业而言,还要承担着污染、意外事故的压力,所以国内经销进口电子级气体的公司较多,研发和生产的企业较少。
以国内研发生产和销售似乎化碳的公司华特气体来说,华特公司已经有20种气体实现了进口替代。并且获得了AMSL,台积电和中芯国际的认证。2019年营业收入只有8.44亿元,公司目前的市值也就才100亿。
这也就是国家为什么派发相应的研发任务到黎明研究院的原因,由国有企业承担,实现进口替代的价值。
结尾
随着中国越来越多的资本投资芯片制造,围绕芯片制造领域的相关的原材料,我国逐渐掌握了自主研发生产的能力,四氟化碳、氟化氢等电子级气体相继问世,
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