也感谢中国科研人 ， 希望他们可以再接再厉 ， 可以突破更多先进技术 ， 造福人类 。

稿源：(秒看科技)

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标题：光刻机|中科大正式官宣！又一关键技术取得突破，成果不亚于光刻机( 二 )