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在光刻机领域内 , ASML的技术最先进的 , 因为目前仅有ASML能够研发制造EUV光刻机 , 而该光刻机又是生产制造7nm以下芯片的必要设备 。
据悉 , ASML早在2018年就正式官宣了EUV光刻机 , 并于次年开始交付出货 , 台积电等厂商随即就推出了EUV工艺的7nm芯片 。
数据显示 , 目前ASML的EUV光刻机出货量已超过142台 , 其中 , 2020年实现了超100台的里程碑 , 2021年全年出货42台EUV光刻机 。
尽管EUV光刻机的总出货量超过了142台 , 但ASML仍不是很高兴 , 原因是ASML的EUV光刻机仍不能自由出货 , 甚至都不能出货到外企中国分厂 。
另外 , 台积电明确表示 , 用DUV光刻机也能够量产5nm制程的芯片 。
而佳能、铠侠等联合推出了NIL工艺 , 在不用EUV光刻机的情况 , 也能量产5nm芯片 , 预计2025年实现 。
最主要的是 , NIL功能大大降低芯片生产成本 , 尤其是设备采购成本(主要指EUV光刻机)和电耗成本 , 并且明确表示将会在全球范围内推广该工艺 。
也就是因为这些事情让ASML不高兴 , 再加上 , EUV光刻机迟迟不能自由出货 , 这也让ASML已经有点等不及了 。
要知道 , ASML已经明确表示 , 将会加大在中国市场的布局 , 并在中国内地建设维修中心 , 并进一步扩大研发中心的规模 。
不仅如此 , ASML还明确表示 , 加大EUV光刻机的产能 , 计划在今明两年共计出货115台EUV光刻机 , 这样的产能相比2021年而言 , 提升都是20%以上 。
最主要的是 , ASML已经开始交付升级版的EUV光刻机 , 其具备更高的光刻精度 , 每小时曝光晶圆在200片以上 , 并计划在2025年实现全球EUV光刻机安装使用超60% 。
这些都是ASML等不及的证据 , 当然 , ASML加速提升产能和技术迭代 , 实际上都是为了实现自由出货 , 缓解自身的压力 。
首先 , 加大EUV光刻机 , 就能够加速实现EUV光刻机自由出货 。
EUV光刻机不能自由出货 , 一方面就是因为产能低 , 导致EUV供不应求 , 也导致EUV工艺没有普及 , 被视为先进工艺 。
一旦EUV光刻机大量上市 , 实现EUV工艺广泛应用 , 届时 , EUV光刻机自由出货自然就是水到渠成 , 毕竟 , EUV光刻机那时候就不再是先进的工艺 。
而且 , EUV光刻机大量普及应用 , 走在NIL工艺前面 , 即便是佳能、铠侠等有心推广NIL工艺 , 但市场基本上也将被ASML占领了 。
其次 , 加大技术升级 , 实现EUV光刻机迭代 , 也是为了自由出货 。
EUV光刻机出现后 , 其就不能自由出货 , 因为这是目前最新先进的光刻机设备 , 相比之下 , DUV光刻机却能够实现自由出货 , 中芯国际还一次性签订了11亿美元的采购协议 。
这意味着新一代光刻机出现 , 上一代光刻机基本上就能够实现自由出货 。
【光刻机|超142台EUV光刻机,ASML已经有点等不及了】所以 , ASML加速技术迭代 , 推出了升级版的EUV光刻机 , 并在2025年推出High-NAEUV光刻机 。
其目的就是加速实现现有型号的EUV光刻机自由出货 , 毕竟 , 升级版的EUV光刻机的NA值为0.55而High-NAEUV光刻机的NA值会更高 。
但现有EUV光刻机的NA值仅为0.33元 , 而更高的NA值意味着更高的生产效率和生产精度 , 其大量上市后 , 现有EUV光刻机出货相对就容易多了 。
最后 , 来自国产设备的压力 。
数据显示 , 国产光刻机占领了国内八成以上的市场 , 新一代国产光刻机上市出货后 , ASML的DUV光刻机在国内或就没有了市场 。
这意味着ASML想保证在国内市场获得源源不断的营收 , 其必须要加速EUV光刻机实现自由出货 , 毕竟 , 新一代国产光刻机很快就会到来 。
也正是因为如此 , 才说超142台EUV光刻机 , ASML已经有点等不及了 。 对此 , 你们怎么看 , 欢迎留言、点赞、分享 。
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