华为鸿蒙系统|网传哈工大研发EUV光刻机,与ASML技术一致,预计2年推出
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如果说在芯片领域 , 什么最牵动我们的心 , 那一定是光刻机 。 因为光刻机是半导体制造中最重要的设备 , 但我们的技术却落后太远 , 还停留在90nm , ASML已进入了5nm , 完全不是一个级别的 。
更关键的是 , 先进的EUV光刻机 , 是进入7nm工艺必须的设备 , 我们根本买不到 , 自己又研发不出来 , 导致先进的芯片制造技术 , 我们实现不了 , 缺光刻机 。
那么怎么办?近日网传哈工大 , 哈工大正在研发EUV光刻机 , 而重要的光源部分 , 采用的是DPP-EUV光源 , 同时中科院长春光机正与哈工大合作 , 基于DPP-EUV光源研EUV曝光机 , 预计2年内可以推出 。
至于EUV光刻机中所需要的透镜及曝光系统 , 长春光机早有突破 , 双方的合作顺理成章 , 且非常具有实操性 。
当然 , 目前不管是哈工大 , 还是长春光机并没有正面回应此事 , 但哈工大在精密加工 , 超精密测量领域 , 早已有了几十年的积累 , 所以看起来可信度还是非常高的 。
事实上在EUV光刻机领域 , 有两种光源 , 一种是DPP-EUV也就是通过放电激发等离子体产生极紫外线光源 , 一种是LPP , 原理是利用高功率激光加热负载(Xe或Sn)形成等离子体 , 等离子体辐射出紫外线 。
目前ASML的光刻机采用的是DPP-EUV技术 , 而哈工大据称这两种技术早在10多年前就有研究 , 而现在主要研究DPP-EUV技术 , 因为这种技术能量转换高 , 造价相比较低 , 复相对而言没那么复杂 。
【华为鸿蒙系统|网传哈工大研发EUV光刻机,与ASML技术一致,预计2年推出】不过 , 现在还只是传闻 , 真真假假 , 假假真真 , 谁也不清楚 , 但如果真的是这样的话 , 有了这些一流的科研机构、大学参与 , 相比于纯粹的企业研发 , 可行性还是会更高的 , 同时进度也会更快的 , 你觉得呢?所以就让我们拭目以待吧 。
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