twins|ASML 公布最新业绩，并宣布交付首个 TWINSCAN EXE:5200光刻机( 二 )

2022-01-19 新冠病毒物品病毒健康码核酸央视财经快件海淘中通国际国际快递

产品和业务亮点

在我们的 EUV 业务中，我们在第四季度收到了一份 TWINSCAN EXE:5000 的订单。我们在 2018 年已经收到了四份订单。
2022 年初，我们收到了下一代 TWINSCAN EXE:5200 的第一份订单，这标志着我们在引入 0.55 NA EUV 的道路上又迈出了一步。

在我们的 DUV 业务中，XT:860N 于 2021 年底交付给它的第一个客户。这个 KrF 系统提供了改进的性能和更低的每次曝光成本。
2022 年，我们将通过引入 NXT:870 将 KrF 添加到 NXT 平台，使我们能够在该平台在 ArFi 和 ArF 干燥方面的现有经验的基础上，在生产力和拥有成本方面迈出重要一步。

在我们的应用业务中，第一台专为大批量制造而设计的 eScan1100 多光束检测系统计划在未来几周内发货。与单电子束检测工具相比，我们预计 eScan1100 具有 25 束 (5x5) 可将吞吐量提高多达 15 倍，用于有针对性的在线缺陷检测应用。

twins|ASML 公布最新业绩，并宣布交付首个 TWINSCAN EXE:5200光刻机

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此外，官方还宣布英特尔首次订购了 ASML 的 TWINSCAN EXE:5200 系统，标志着 EUV 0.55 NA (High-NA) 引入的下一步，推动 High-NA 于 2025 年投产。

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