从国内Fab厂招标数据,看半导体设备国产化进程
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近年来 , 在国家政策与资金双重支持下 , 国内半导体设备产业迎来了发展契机 。 特别是在中美科技战背景下 , 国内Fab厂(晶圆厂)也加大了对于国产半导体化设备的扶持 。 而随着去年以来的全球缺芯 , 全球晶圆厂掀起了扩产潮 , 对于半导体设备需求激增 。 国内半导体设备也由原先依靠长江存储、中芯国际、华虹半导体等大厂订单拉动 , 转变为国内各类IDM/代工/特色工艺晶圆厂多方位需求共振 。
长江存储国产化率已攀升至16% , 二期将进一步提振国产设备需求
长江存储于2016年总投资约1600亿元建设国家存储器项目 , 该项目预计分三期实施 , 规划月产能共30万片/月 。 根据武汉市政府信息披露2019年达到第一阶段5千片/月 , 2019年进入产能扩张第二阶段 , 月产能达到2万片/月 , 至2020年末月产能约达5万片/月 , 根据规划 , 一期项目未来将达10万片/月 , 于2022年投产 , 同时二期工程于2020年中旬开始建设 。
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按半导体交付周期可将设备采购分三阶段 。 通常设备厂商得到中标订单后需约2个季度来生产 , 从交付到装机需要一个季度 , 装机完成后便进行产能爬坡 , 因此我们可以认为其设备往往在产能释放前3个季度进行集中招标 , 因此我们可以将长江存储招标分为三个阶段:
1)第一阶段(17Q2~19Q2 , 0~20K)
【从国内Fab厂招标数据,看半导体设备国产化进程】2)第二阶段(19Q2~20Q2 , 20~50K)
3)第三阶段(20Q2~21Q4 , 50~100K)
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通过对长江存储历史招标信息进行统计 , 截止2021年6月30日 , 共招标光刻机44台、刻蚀机379台、薄膜沉积675台、CMP124台、涂胶/显影/去胶130台、清洗设备142台、氧化/扩散/热处理241台、量测设备371台 , 合计价值量约400~500亿元人民币 。 根据Gartner数据 , 光刻机占比约18%-21%、刻蚀设备占比约20%-25%、薄膜设备占比约15%-17% , 三者合计占比约53%-63% , 为前道制程中主要的设备投资 。
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根据中国采招网统计 , 三个阶段中 , 国产设备在长江存储中的比例分别为8%、14%、16%呈稳步上升趋势 。
刻蚀设备中 , CCP等离子体刻蚀机合计招标184台 , 国内代表企业仅有中微公司 , 国产化率合计约27% , 由于每批次招标设备细分种类有所不同 , 其在CCP领域市占率由23%~36%之间浮动 , ICP等离子体刻蚀机合计195台 , 国内代表企业为北方华创及屹唐半导体 , 国产化率合计约19% , 由于长江存储从64层向128层的技术转化 , 对ICP刻蚀设备需求量逐渐上升 , 其中北方华创在三个阶段中市占率分别为4%/13%/19% , 上升趋势显著;
薄膜沉积设备中 , CVD设备合计招标245台 , 国内代表企业为沈阳拓荆 , 其合计国产化率达4% , PVD设备合计招标34台 , 国内代表企业为北方华创 , 合计国产化率约30%;
CMP设备合计招标124台 , 华海清科在国内合计市占率达20%;
清洗设备招标142台 , 盛美股份市占率分别为17%/21%/26% , 呈上升趋势;
量测领域合计招标371台 , 目前国产化率较低 , 中科飞测主要聚焦于检测领域Sufscan , 合计中标6台 , 上海睿励与上海精测主要覆盖OCD及膜厚量测 , 合计出货8台 。
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随着长江存储二期陆续拓展 , 其对国内设备将带来巨大设备订单拉动 。 根据长江存储规划 , 二期规划产能约10万片/月 , 已于2020年中旬开工建设 , 未来设备招标在即 , 根据长江存储一期设备采购金额推算 , 我们预测二期将至少投资400-500亿元用于采购设备 , 按照目前16%合计国产化率测算 , 将带来至少64亿元~80亿元设备采购需求 , 将在未来两年内逐步释放 , 其中随着各类设备国产化比例逐步上升 , 未来设备订单有望大幅上修 。
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二、晶圆厂完成从0到1建设阶段 , 多产线需求共振拉动国内设备订单
国内厂商陆续扩产 , 多产线需求共振 。 目前全球半导体资本支出进入景气上行周期 , 国内半导体设备由原先依靠长江存储、中芯国际、华虹半导体等大厂订单拉动转变为国内各类IDM/代工/特色工艺晶圆厂多方位需求共振 , 我们对2021年初至今各厂商半导体设备中标情况进行了详细统计 , 对该逻辑进行了充分验证 。
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