上海|茂莱光学闯关科创板：打入上海微电子供应链，但部分应收账款迟迟未收回系统|公司|业务|设备|茂莱光学|光刻机|

每经采访人员：朱成祥每经编辑：张海妮
10月29日，上交所网站披露茂莱光学审核问询函回复。茂莱光学曾在招股说明书（申报稿）中表示：“（公司）高精度光学器件应用于光刻机设备中，为客户提高了国产化率，为光刻机全面国产化提供了关键支撑。 ”
根据回复函，光刻机相关业务2020年1~3月占营收比重为16.16% 。茂莱光学强调国内知名半导体光刻机制造商上海微电子是其核心客户。但茂莱光学也表示：“截至2020年9月末，除上海微电子装备（集团）股份有限公司仍有部分逾期应收账款尚未收回外，其余应收账款均已收回。 ”

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图片来源：审核问询函回复截图
提供光刻机关键模块？
茂莱光学是精密光学综合解决方案提供商，专注于精密光学器件、高端光学镜头和先进光学系统的研发、设计、制造及销售。在主营业务介绍中，茂莱光学着重强调产品用于半导体光刻机，表示公司服务于全球半导体光刻机及检测装备、生命科学及医疗（如基因测序及核酸检测）、航空航天、无人驾驶、生物识别、AR/VR检测设备等应用领域。
茂莱光学主要有三大业务，分别为精密光学器件、高端光学镜头和先进光学系统。 2019年，这三大业务营收分别为1.33亿元、5523.54万元和3102.93万元，占总营收比例分别为59.84%、24.89%和13.98% 。
用于光刻机的核心器件，则是半导体光学透镜。该产品属于茂莱光学精密光学器件业务，在公司产品中也是第一个介绍的。茂莱光学表示：“（半导体光学透镜）用于半导体光刻机光学系统中耦合、中继照明模块，是光刻机实现光线均匀性的关键模块。 ”
【上海|茂莱光学闯关科创板：打入上海微电子供应链，但部分应收账款迟迟未收回】方正证券曾这样描述光刻机的工作原理：在IC制作过程中，光束穿过掩模及镜片，经物镜补偿光学误差，将线路图曝光在带有光感涂层的硅晶圆上，然后显影在硅片上。激光器作为光源，物镜补偿光学误差，是光刻机的核心设备，光刻机物镜系统一般由近20个直径为200~300mm的透镜组成。
光刻机的构造一般分为照明系统（光源+产生均匀光的光路）、Stage系统（包括Reticle Stage和Wafer Stage）、镜头组（光刻机的核心）、搬送系统（Wafer Handler+ Reticle Handler）、Alignment系统（WGA ， LSA ， FIA）。照明系统是光刻机曝光系统的重要组成部分，只有高质量的照明系统，才可充分发挥曝光系统成像的需要。

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图片来源：茂莱光学招股书（申报稿）截图
目前，光刻机“一哥”ASML的镜片便是以蔡司技术打底，长期以来为ASML的光刻设备提供最关键且高效能的光学系统。从这个角度看，茂莱光学对标的是蔡司。
但茂莱光学列举的主要竞争对手中，则并没有蔡司。而是以美国Newport公司（主营激光光源）、德国Jenoptik（主营工业测量技术产品），以及国内的福光股份（主营高端光学镜头）、永新光学（主营显微镜系统）、福特科（主营精密光学器件）作为竞争对手。
作为茂莱光学在精密光学器件领域的竞争对手，福特科的主要产品包括安防监控镜头、高清智能交通镜头、机器视觉镜头和汽车机载镜头。
打入上海微电子供应链，但应收账款回款较差
在茂莱光学的公司介绍中，其把半导体光刻机及检测放在一起，但是这两类产品在技术难度上差距很大。其中，光刻机是前道七大设备之首，而检测则属于后道设备。相比于前道光刻机，检测设备的技术难度要小得多。