视觉第一高速 韩国光刻机技术获重大突破!会与中国分享吗?,不受美国限制
据最新报道 , 韩国本土企业在EUV光刻技术方面取得了极大进展 。 虽然报道中还未说明具体是哪一家韩国企业取得了技术突破 , 但分析推测应为韩国整个半导体光刻产业 。
报道指出 , 近10年来 , 三星电子(SamsungElectronics)、SK海力士(SKHynix)等为代表的韩国芯片制造商都在对光刻技术进行深入的探索 。 有消息传出 , 有部分韩国企业(据称是三星)已经开始使用5nm工艺的EUV光刻技术来生产智能手机芯片 。
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公开资料显示 , EUV光刻技术是多种先进技术的总称 , 具体包括多层反射镜 , 多层掩模 , 防护膜 , 光源等 。 作为高端芯片生产流程的重要技术组成 , EUV光刻技术的研发是一块十分“难啃的骨头” , 其具体的技术高度和复杂程度 , 在业内甚至有超过研发“原子弹”的说法 。
有报道指出 , 从1999年至今 , 全球参与EUV光刻技术研发的国家超过40个 , 主要以美国、欧洲、日本、韩国的企业为代表 , 但是最终仅有美国企业Cymer公司完成了EUV光源功率的商业化指标 , 目前也是荷兰巨头阿斯麦(ASML)的光源模组供应商 。
由于阿斯麦必须依赖Cymer公司提供技术支持 , 最终才能完成EUV光刻机的制造 。 因此 , 阿斯麦必须看美国的脸色行事 。 这也是该司至今没法将EUV光刻机送货到中芯国际手中(2018年12月购买至今未到货)的原因 。
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日前 , 中国半导体行业协会副理事长魏少军也指出 , 我国在芯片设计不受国外制约 , 主要的“短板”就是制造环节 , 光刻胶为代表的高端半导体原料还需要大量的研究 。 那么 , 韩国将来有望与中国分享这一技术吗?不是没有这个可能 。
要知道 , 韩国芯片巨头一直盼着能在中国芯片市场“分一杯羹” 。 其中 , 上文提及的三星电子、SK海力士等韩国企业早已在中国设下了芯片工厂 。 三星电子在去年12月还宣布追加80亿美元(折合约529亿元人民币)的资金投入 , 以促进在华NAND闪存芯片的生产 。
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到了今年 , 即使美国的新规不断升级 , 韩国的巨头也没有放弃与中国的合作 。 据中国基金报消息 , 今年9月下旬 , 我国知名半导体材料制造商——晶瑞股份透露了一则消息 , 该司将通过代理商(SingtestTechnologyPTE.LTD.)从SK海力士手上购买一台二手的ASML光刻机设备 , 打算利用此来发展高端半导体材料 。
11月12日当天 , 三星还首次面向中国市场发布了新款高端芯片产品——Exynos1080 , 并打算靠这款5nm工艺的芯片打入小米、vivo等中国企业的智能手机零部件供应链 。
【视觉第一高速 韩国光刻机技术获重大突破!会与中国分享吗?,不受美国限制】考虑到中国目前已与日本、韩国达成了RCEP , 预计在经济贸易方面 , 日韩将进一步与中国扩大联系;再加上如今美国局势变化 , 估计届时中韩也将在这一领域展开更多合作 。
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