芯片|国内第2家进入5nm芯片产线的设备厂商?干法去胶设备,全球第1


芯片|国内第2家进入5nm芯片产线的设备厂商?干法去胶设备,全球第1
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芯片|国内第2家进入5nm芯片产线的设备厂商?干法去胶设备,全球第1
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众所周知 , 在芯片的生产过程中 , 需要几十道工序 , 几百种设备 , 缺一不可 。
而这些设备基本上都是与芯片工艺相关的 , 比如光刻机、刻蚀机、薄膜沉积和过程检测等等都是对应着XXnm工艺的 , 不是说有了设备 , 就可以生产任意工艺制程的芯片 。
目前国内很多厂商的设备 , 能够支撑的工艺大多在28nm及以上工艺 , 也有些达到了14nm , 再往下就极少极少了 。
国内第一家进入5nm产线的设备厂商应该是中微半导体 , 他们家的刻蚀机在2019年的时候就实现了5nm的精度 , 并且被台积电使用 , 用在5nm芯片的制造之中 。
事实上 , 在中微之后 , 也有第2家国产厂商 , 早成功打入5nm生产线了 , 并且在干法去胶设备领域 , 更是全球第一 , 这家厂商就是北京屹唐半导体科技股份有限公司(简称“屹唐股份”) 。
屹唐股份的主营业务主要有三块 , 分别是干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备 , 这些设备都是用于芯片制造的 。
先说说干法去胶设备 , 这个过程是在光刻之后 , 去除晶圆上光刻胶的设备 , 目前屹唐股份干法去胶设备可以用于90nm到5nm芯片 , 并且被三星、台积电、中芯国际、美光等厂商使用 , 更重要的是 , 干法去胶设备 , 屹唐股份的市值份额全球第一 。
再说说快速热处理设备 , 这种设备是用于增加光刻胶和基片间的黏附能力的设备 。 屹唐股份的快速热处理设备也能够用于90nm到5nm的芯片 , 主要客户同样有台积电、三星、SK海力士 , 中芯国际这些巨头 , 从市场份额来看 , 排名全球第二 。
而他的干法刻蚀设备主要可用于65nm到5nm的芯片 , 主要客户是三星、长江存储 , 从市场份额来看 , 排名全球第10 。
为何屹唐股份能够这么强 , 这不得不说一下屹唐的核心子公司MTI(Mattson Technology Inc.)了 , 它是一家美国半导体设备厂商 , 成立于1988年 , 主营就是半导体设备的研发和生产 , 后来在2016年被屹唐股份私有化收购了 , 成为了屹唐的子公司 。
而屹唐股份收购了MTI公司后 , 也把他们的核心高管留了下来 , 也吃透了他们的技术 。 而MTI在干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备方面都很强 , 于是顺理成章的 , 屹唐股份也就拥有了这三种设备的全套技术 。
后来屹唐股份在2018年建好了中国研发制造基地后 , 也将这3种设备实现了本地化的生产和销售 , 也就实现了国产设备在这三个领域的大步前进 。
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