佳能|说起光刻机,其实永远是日本人心中的痛,尼康和佳能活生生被挤出了这个市场
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【佳能|说起光刻机,其实永远是日本人心中的痛,尼康和佳能活生生被挤出了这个市场】
今天来说下佳能 , 很多人以为佳能就只是个照相机厂商 , 但其实佳能也是芯片领域最重要的环节光刻机的制造商之一 , 因为光刻机用通俗的话来说 , 本质其实是投影仪+照相机 。 就是用光源把芯片的电路图投射到涂了光刻胶的硅晶圆上 , 硅晶圆涂了光刻胶 , 是一种光感材料 , 就会显示出电路图来 , 这中间光学技术运用得比较多 。
1952年索尼创始人盛田绍夫用了2.5万美金买下了当时还不受重视的晶体管技术专利 , 日本从此就开始对芯片着迷了 。 东芝、三菱、松下、索尼、NEC、夏普等几乎全部扎堆造芯片 , 连钢铁巨头全日钢也不落后 。 佳能也是那时全力进军半导体领域 , 于1970年发售了日本首台半导体光刻机 , 迄今50周年 。
佳能为啥要造光刻机?其实还是利用相机镜头技术 。 佳能在20世纪60年代中期因此研发出了用于光掩膜制造的高分辨率镜头 。 此后为了进一步扩大业务范围 , 佳能开始了半导体光刻机的研发 。 佳能于1975年发售的光刻机在世界上首次实现了1微米以下的曝光 。 那时的佳能和尼康如日中天 , 几乎垄断了光刻机的全球市场 。
可是 , 美国用了三招就把佳能、尼康打击 , 第一招就是封杀技术 , 佳能、尼康为何能发展那么快?是因为美国之前认为晶体管技术只是过渡的技术 , 所以并不十分在意 , 继续向日本提供技术支持和专利售卖 。 到了上个世纪八十年代 , 日本把美国芯片企业打得找不着北了 。 这时美国就急了 , 搞了个EVU LLC联盟 ,, 把所有美国先进的芯片厂商、应用材料厂商、软件厂商都集合在一起 , 不给佳能、尼康供应技术 , 而光刻机又是个需要各种技术的细活 。
第二招就是利用了一个时机 , 2002年 , 光刻机157nm光源干刻法与193nm光源湿刻法的技术之争 。 当时的光源达到了193nm , 而接下来要实现更高的工艺要求 , 就要将光源波长变短 , 实现更精密的光刻 。 尼康守旧 , 结果被美国支持研发的EUV光刻机打败 。
第三招是支持了一个企业 , 即荷兰ASML , 荷兰ASML本来跟美国啥关系都没有 , 可是这家企业很精明 , 邀请美国企业入股 , 又承诺50%以上的零部件采购买国 。 美国人一听 , 原来有这么听话的企业 , 于是把ASML拉进EVU LLC联盟 , 全力扶持 。 结果卖身给美国的荷兰ASML就这样彻底击败了佳能、尼康 , 这段历史教训与5G时代真像 , 值得华为、中兴借鉴 。
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