那写到最后可能就有人问了 ， 为什么中国拥有KBBF光源技术 ， 为啥就不能自己生产EUV光刻机呢？
实际上 ， 虽然KBBF晶体虽然是EUV光刻机的核心元件 ， 但是一台光刻机的内部零件高达10万个 ， 对每个零件的精密度要求都非常高 ， 而这些零件有几十个国家的产业参与 ， 其中光学器件和镜头来自德国 ， 轴承由瑞典提供 ， 控制软件来自于美国 ， 复合材料用的是日本的产品 。 其中很大一部分 ， 我国在相关技术领域仍然处于中低端 ， 因此也就无法制造工艺水平较高的光刻机 。
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