脑极体|芯片破壁者（九）：荷兰半导体明珠ASML是如何炼成的？在《光刻技术的“鬼斧”之变》中

在《光刻技术的“鬼斧”之变》中，我们已经粗略地回顾了光刻机产业的发展史。在上世纪残酷的光刻机淘汰赛中， 1984年最后登上光刻机舞台的荷兰光刻机公司ASML（全称AdvancedSemiconductorMaterialLithography ，先进半导体材料光刻公司），成为最后的胜利者。

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直到今天， ASML仍然是光刻机企业当中的翘楚，而且是世界上唯一能够生产最先进EUV光刻机的制造商。这个被誉为半导体皇冠上明珠的ASML ，对于芯片制造产业来说到底有多重要呢？用ASML总裁彼得·温宁克在2017年接受《天下》杂志专访时说的一句话就是：
“如果我们交不出EUV ，摩尔定律就会从此停止。 ”
目前，摩尔定律的极限已实现5nm制程，接近3nm、2nm制程工艺，想要实现这一制程节点，就一定要用到荷兰ASML的EUV光刻机。
2019年， ASML一共销售了229台光刻机，其中EUV售出26台。即使每一台的售价高达1.2亿美元，却依然是全球顶尖芯片制造商争先订购的抢手货。所以，这26台EUV光刻机的营收已经占到ASML全部营收的三分之一，预计随着芯片制造商的换代升级， 2025年将增长到四分之三。
ASML如何从飞利浦的一家不起眼的合资公司，成长为可以左右全球芯片产业格局的光刻机巨擘？到底是什么原因使得身处欧洲小国荷兰的ASML取得如此巨大的成功，成为我们值得去回顾和学习的重要经验。
两次关键选择，后进生ASML的艰难上位
如果了解光刻技术的发展史，你就会知道光刻技术的原理并不复杂，还在微米制程时代的芯片产业对于光刻机的要求并不高。七十年代那个时候，就连英特尔也能买来各种零件，自己组装光刻机。
不过，光刻机的专业化很快成为主流趋势。

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（尼康1980年推出的光刻机NSR-1010G）
在八十年代初，占据光刻机主要市场的还是美国的GCA、日本的尼康。 1980年，尼康推出了商用的步进式光刻机Stepper ，随后逐渐取代GCA ，成为80年代光刻机产业的翘楚。
1984年， ASML由荷兰飞利浦公司与一家荷兰芯片设备代理商ASMI合资成立，此后就一直专注从事光刻机设备的研发和生产。
ASML虽然有飞利浦的背景，但并没有含着金钥匙出生。成立之初， ASML只有31名员工，办公地点也仅是飞利浦总部外面空地上的一排简易厂房，这些至今被人们当做ASML传奇的开篇而津津乐道。当时， ASML面临自身技术落后、市场竞争激烈、资金不足等诸多难题。
不过， ASML一开始就本着“初生牛犊不怕虎”的劲头，成立第一年就克服种种技术困难，推出了第一代的步进式扫描光刻机PAS2000 ，获得了市场初步认可，也让ASML得以生存下去。

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（ASML步进式光刻机PAS2500）
在20世纪90年代， ASML凭借持续的产品改进和出色的销售能力，终于在光刻机市场站稳了脚跟。直到1995年， ASML在美国的纳斯达克和荷兰阿姆斯特丹交易所同时成功上市，并且从飞利浦回购全部的股份，实现了完全独立，也获得了充裕的资金让公司加速发展。
十年生长，十年蓄力。冉冉升起的ASML终于有了挑战强劲对手尼康的机会。此时，一次有关光刻技术路线的选择，成为决定ASML和尼康此后成败的关键点。
90年代末，受制于干式微影技术的限制，摩尔定律的延续被卡在光刻机的193纳米的光源波长上面。尼康选择走稳健路线，继续自己在干式微影技术的优势，继续开发157纳米的F2激光光源。