爱集微|安徽宿州将添半导体气体项目,投资超4亿元

【爱集微|安徽宿州将添半导体气体项目,投资超4亿元】集微网消息 , 7月28日 , 宿州市经济技术开发区官网发布了宿州伊维特新材料有限公司半导体气体、材料研发及国产化二期扩建项目环境影响评价第一次公示 。
爱集微|安徽宿州将添半导体气体项目,投资超4亿元
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该项目在宿州经济技术开发区金安路原厂区拟新建六氟乙烷与八氟环丁烷纯化、分装装置 , 设计产能500吨/年;混配气 , 产能45000m3/年;电子级笑气 , 产能6000t/a;可燃性及腐蚀性气体620t/a、可燃性气体及大宗气体85750立方/年 。 项目总投资40590.14万元 。
在半导体行业 , 六氟乙烷作为蚀刻剂以其无毒性和高稳定性优于其他电子气体 , 作为器件清洗剂 , 又具有排放性低、利用率高等特点 。 另外 , 六氟乙烷还被用于化学工业、电力工业、医疗事业以及光纤生产等领域 。
而八氟环丁烷由于性质稳定、无毒且消耗臭氧潜能值(ODP)为零、拥有良好的绝缘性等 , 近年来在高压绝缘、清洗蚀刻、等离子处理等技术领域得到广泛应用 。
宿州伊维特新材料有限公司是浙江陶特容器科技有限公司的全资子公司 , 天眼查显示 , 该公司成立于2017年6月12日 , 经营范围包括危险化学品(氧化亚氮)生产、分装、经营;危险化学品研发、经营等 。 (校对/小北)