江苏激光产业创新联盟|全球首台:大型紫外3D直写光刻设备iGrapher3000投入运行( 三 )


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江苏激光产业创新联盟|全球首台:大型紫外3D直写光刻设备iGrapher3000投入运行
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非对称微结构(3D显示)高效增亮结构(显示照明)
江苏激光产业创新联盟|全球首台:大型紫外3D直写光刻设备iGrapher3000投入运行
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自由曲面微透镜阵列(深度感知)台阶分布(结构光)
作为对比 , 用于芯片极紫外投影光刻机(EUV) , 追求极细线宽(已达5nm) , 难度在于极端的精度控制和高产率(极紫外光源、运动平台和套刻精度) , 芯片的投影光刻 , 用光掩模图形缩微复制 , 不涉及海量数据处理等问题;用于光掩模的直写光刻设备(LDW) , 将规则电路图形转化为光掩模 , 形成显示TFT光掩模 。 与集成电路的薄胶光刻工艺不同 , 用于微纳结构形貌的3D光刻 , 追求形貌与相对排列精度(根据用途不同) , 难度在于海量数据处理与传输(数百Tb)、大面积的结构功能设计与先进算法、3D光刻与3D邻近效应补偿等保真度工艺等 , 深度范围:50nm~20微米 , 精度范围:1nm~100nm 。 可见 , 3D光刻机在功能与用途上 , 与以往2D光刻机有明显的不同 。
4、3D光刻的用途
iGrapher3000为新颖光电子材料与功能器件的研究和产业创新 , 开辟了新通道 。 主要用于大尺寸光电子器件、超构表面材料、功能光电子器件等在内的微纳形貌和深结构的制备 , 包括大尺寸透明电路图形、高精度柔性触控传感器、高亮投影屏、全息3D显示、MiniLED电路背板、高光效匀光板、虚实融合光子器件、大口径透明电磁屏蔽材料等 。
iGrapher3000也可用于平板显示产业和柔性电子产业的光掩模制备 , 并为高精度大口径薄膜透镜的设计制备提供了战略研发资源 。 下图为大尺寸柔性导电材料、大尺寸光场调控器件和大型miniLED背光的微电路背板 。
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大尺寸柔性触控屏的微电路3D光刻制备
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大尺寸miniLED高光效匀光板、大面积投影屏的3D光刻制备
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大尺寸miniLED背板与透明立体显示屏的3D光刻制备
4、苏大维格的光刻机研发经历
苏大维格光刻仪器事业部在光刻技术与设备领域有扎实的基础 , 研制了多种用于MEMS芯片的光刻设备MiScan200(8”~12”)、微纳光学的MicroLab(4”~8”)和超表面、裸眼3D显示、光电子器件研究的纳米光刻设备NanoCrystal(8”~32”) 。 这些新型光刻设备在企业和高等院所广泛应用 , 解决了我国多个领域研究中的卡脖子问题 , 为新型光电子器件、新材料、MEMS芯片和传感器件的研发提供了自主可控的先进手段 。
【江苏激光产业创新联盟|全球首台:大型紫外3D直写光刻设备iGrapher3000投入运行】2020年1月10日 , 在国家科技奖励大会上 , 苏大维格承担的“面向柔性光电子的微纳制造关键技术与应用”成果 , 荣获国家科技进步奖二等奖 。