刻蚀机|6旬老人回国创业，从65nm到5nm耗时11年，缔造中国唯一刻蚀机巨头半导体|尹志尧

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【刻蚀机|6旬老人回国创业，从65nm到5nm耗时11年，缔造中国唯一刻蚀机巨头】

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刻蚀机作为芯片制造过程中的关键设备，重要程度不亚于光刻机。同光刻机一样，刻蚀机对精度的要求极其严苛，其钻头仅有一根发丝的宽度，却要完成数以亿计的打孔任务。令人骄傲的是，难度如此高的刻蚀机已被我国半导体巨头——中微半导体所攻克。

说到中微半导体，就不得不提创始人尹志尧。在美国加利福尼亚大学读完研的尹志尧，毕业后在英特尔工作一段时间后，便被Lam请去做刻蚀机研发工作。不过五年的时间， Lam便在刻蚀机领域跻身全球第一。不过，后来Lam出现了内部管理问题，于是应用材料看准时机挖走了尹志尧。
尹志尧在应用材料工作的13年里，带领公司刻蚀机业务飞速发展，最终应用材料便挤掉Lam坐上了第一的位置。尹志尧，绝对是刻蚀机行业大佬级的人物，抢手程度不难想象。不过，在2004年，年过六旬的尹志尧带领着研发团队，选择了回国，并创建了中微半导体。
经过16年的发展，中微半导体已经成为我国唯一的，也是全球领先的刻蚀机巨头。虽然尹志尧对于刻蚀机的制造工艺了然于心，但是他明白美国知识产权管制的严苛，不想惹上官司。于是，尹志尧与团队最先做得是对海外专利的研究，然后才开始国产蚀刻机的研制。
中微半导体从65nm做起，对业界刻蚀机巨头穷追不舍，在公司成立三年后，首台CCP刻蚀设备惊艳亮相，打破我国刻蚀机领域的空白。而且，该CCP刻蚀设备还一举打入了海外市场，令人瞩目。此后，中微半导体不断追求更高精度刻蚀机，如今，更是突破5nm刻蚀机。
在2019年，中微半导体交付5nm刻蚀机。在发展过程中，除遇技术难题外，中微半导体还遭到了来自应用材料、英特尔于Lam三家的轮番起诉，理由是中微窃取专利。但是，尹志尧对此早有准备，因此，在长达11年的官司里三家并没有讨到好处，最终和解。
用11年的时间，中微半导体从65nm到5nm ，成长速度不得不令人赞叹。而在2019年，中微半导体成功登陆科创板，同年，其营收也增长至19.47亿元。接下来，中微半导体将投身于3nm刻蚀机的研发，期待其表现。
文/BU 审核/有鱼