光刻机|荷兰工程师:我们在光刻机调试的时候,你们要安静


光刻机|荷兰工程师:我们在光刻机调试的时候,你们要安静
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光刻机|荷兰工程师:我们在光刻机调试的时候,你们要安静
目前 , 世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机 , 一台光刻机设备的运输要整整40多个货柜 , 而且组装之难是世界公认的 。 早年间上海微电子的贺荣明总经理参观了ASML后 , 都承认给我们全套图纸 , 确实很难做出来 。
即使做出来了 , 在进行组装时 , 也不会调试 , 比如螺丝的松紧程度 , 10万个部件之间的平衡等等问题 , 据说在光刻机组装时 , 一里外有高铁经过 , 传出的10-20hz震动都会导致设备失灵 。 设备调试完成后 , 是启动服务 , ASML在中国设立的12个机构和一千多人的服务团队就是为启动和后续维修准备的 。

所以光刻机之难 , 并不止在于关键技术 , 关键材料 , 还有与之匹配的调试方法和维修保养 , 试想一辆大奔一年都要花费上万的保养费 , 光刻机的保养费只会更加恐怖 。 不过正如汽车保养 , 其中的水分也就骗骗外行 , 这里面的奥秘只要摸透了 , 相信原理并不难 。

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更何况现在国家队进场 , 四个部门联合发声 , 力挺光刻机攻坚 , 上机所长春光机也都在加班加点 , 放弃国庆假期 , 就是为了早日成功 。 ASML听到这个消息后 , 想要早日恢复供货 , 看来是慌了 , 怕国产光刻机突破后 , 第一位置不保 。