财经作者陈琦光刻机大败局:芯片领域的国家较量,不是印钞机,但比印钞机金贵( 三 )
美国自然不会给日本投诚然后扼住美国半导体咽喉的机会 。 在一份提交给国会的报告之中 , 专家明确指出“尼康可能会将技术转移回日本 , 从而彻底消灭美国光刻机产业” 。 [2]
日本是敌人 , 但荷兰还是有改造成“美利坚好同志”的机会的 。
为了表现诚意 , 阿斯麦同意在美国建立一所工厂和一个研发中心 , 以此满足所有美国本土的产能需求 。另外 , 还保证55%的零部件均从美国供应商处采购 , 并接受定期审查 。 所以为什么美国能禁止荷兰的光刻机出口中国 , 一切的原因都始于此时[3]
但不管怎么说 , 美国能源部还是和阿斯麦达成了协议 , 允许其加入EUV LLC , 共同参与开发 , 共享研究成果研究成果研究成果 。
6年时间里 , EUV LLC的研发人员发表了数百篇论文 , 大幅推进了EUV技术的研究进展 , 割地求和的阿斯麦虽然只是其中的小角色 , 但也有机会分得一杯羹 。
分享技术只是一方面 , 收购走后门其实也是美国送给阿斯麦的一份大礼 。 2009年 , 美国的Cymer公司研发出EUV所需的大功率光源 , 成为阿斯麦的供应商 , 更在四年后以25亿美元高价直接被并购 。 别忘了 , 这可是光刻机的核心零件 , 这样顶尖的技术 , 全球范围也不超过三家 。
毫不夸张的说 , 阿斯麦虽然是一家荷兰企业 , 但崛起的背后 , 其实是一场地地道道的美国式成功 。
03
日本楼塌了
错失EUV关上了尼康光刻机的大门 , 而盟友的背叛则彻底焊死了尼康想要突围的出路 。
说实话 , 当年的英特尔为了防止核心设备供应商一家独大 , 还是其实挺想带着尼康一起玩的 。
32nm工艺制程时甚至独家采用尼康的光刻机 , 而之前的45nm , 之后的22nm , 也都是尼康和阿斯麦同时供货 。 就连在2010年的LithoVision大会上 , 英特尔还宣布将一直沿用193nm沉浸式光刻至11nm节点 。
但备胎终究是备胎 , 一转身 , 英特尔就为了延续摩尔定律的节奏 , 巨资入股阿斯麦 , 顺带将EUV技术托付 。
另一边 , 相比一步步集成了全球制造业精华的阿斯麦 , 早年间就习惯单打独斗的尼康在遭遇美国封锁后 , 更是一步步落后 , 先进设备技术跟不上且不提 , 就连落后设备的制造效率也迟迟提不上来 。
当年 , 相同制程 , 阿斯麦宣称“每小时可加工175~200片晶圆” , 而尼康的数据是“每小时200片” 。
但果真如此吗?这背后涉及到了一个叫做稼动率的制造业名词 。 简单理解为一台机器设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值 。
使用阿斯麦的设备 , 三星与台积电的稼动率常年维持在95%上下 , 一个词语概括 , 靠谱!
但反观尼康 , 被迫自研 , 什么零件都能做 , 但又总是差点意思 。 导致同一批次的相同设备 , 每一台的性能都不尽相同 。 就像买了二十台苹果手机 , 这台只能发微信 , 那台只能刷视频 , 剩下18台还正送检维修 。
设备虽便宜 , 但稼动率最多只能达到50%左右 , 对晶元代工厂来说 , 实在不划算 。 [7]
因此 , 英特尔新CEO上任后 , 立刻抛弃了尼康 , 甚至就连大陆的芯片代工厂都看不上尼康 , 只能退出IC光刻 , 生产出的设备 , 只能卖给三星、LG、京东方 , 用来生产面板 。
这边旧人哭 , 那边新人笑:2012年 , 英特尔连同三星和台积电 , 三家企业共计投资52.29亿欧元 , 先后入股阿斯麦 , 以此获得优先供货权 , 结成紧密的利益共同体 。
站在EUV LLC的肩膀上 , 背靠美国支持 , 又有客户送钱 , 阿斯麦自此正式成为“全村的希望” , 在摘取EUV光刻机这颗宝石的道路上 , 一路孤独的狂奔 。
终于 , 在2015年 , 第一台可量产的EUV样机正式发布 。 正所谓机器一响 , 黄金万两 , 当年只要能抢先拿到机器开工 , 就相当于直接开动了印钞产线 , EUV光刻机也因此被冠上了“印钱许可证”的名号 。
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