索尼这款dToF图像传感器的分辨率为3万像素 ， 像素尺寸为10微米 ， 探测器类型为SPAD阵列 。 像素内连接通过混合键合互连技术将探测器晶圆和逻辑电路晶圆键合实现 ， 这是索尼首次将3D堆叠应用于dToF图像传感器 。 同时 ， 深沟槽隔离（Deep trench isolation）也被应用 ， 充满金属的沟槽完全隔离了像素 。 此外 ， 苹果新款iPad Pro激光雷达还集成了Lumentum的VCSEL芯片和德州仪器（TI）的VCSEL驱动芯片 。

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索尼dToF图像传感器横截面图

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Lumentum的VCSEL芯片
好消息 ， 麦姆斯咨询正在撰写《飞行时间（ToF）传感器技术及应用》报告 ， 后续将在MEMS微信公众号发布报告介绍 ， 敬请关注 ， 谢谢 。
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