科技小艾说■又一中国半导体巨头崛起，占领5nm芯片制高点，继ASML光刻机之后众所周知

众所周知，随着国内电子制造业的蓬勃发展，国外先进电子制造业也在快速向中国转移。但是转移到中国的电子制造都不是最先进的电子制造产业，而大都是中端制造产，比如先进的7nm以下的芯片制造、高端光刻机等高端电子制造业仍然是中国电子制造业的短板和死穴，成为了中国电子制造业发展瓶颈，甚至有钱也买不到。

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目前，全球的高端光刻机产业完全被荷兰ASML、日本尼康、佳能垄断， 2019年仅ASML就占据了全球359台光刻机出货量的229台，最高端的26台EUV光刻机已无日本企业，在ArFi和KrF类的光刻机也同样如此，数据表明ASML已经获取了光刻机80%以上全球市场，日本尼康和佳能的市场萎缩严重，国内的国产光刻机却迟迟无法在技术上形成突破，也只能在低端徘徊。不仅如此，美国还和欧洲签订了瓦森那协议，最先进的光刻机中国有钱买不到，中芯国际订购的EUV光刻机就是一个明显的例子。

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对芯片制造产业有所了解的人都知道，芯片制造有两个重要的设备，一个是ASML的EUV光刻机，另一个就是刻蚀机，这两个设备占据了芯片上千道工序的70% ，因此没有这两样设备注定了芯片制造产业必然会受制于人。但是2020年初，中国企业率先在刻蚀机上打破了国外的封锁，制造出了和光刻机配套的5nm刻蚀机，占领了全球5nm刻蚀机的制高点，也意味着又一个中国半导体巨头正式崛起，在刻蚀机领域全球领先。

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这家公司就是中微电子，是唯一在芯片制造领域率先取得突破的中国企业，中微公司生产的5nm刻蚀机已成功进入台积电产业链，已将国外刻蚀机巨头远远甩在身后，据了解中微电子3nm刻蚀机也正在研发中。目前中微电子生产的刻蚀机已经在台积电运行200多台，国内刻蚀机的大部分市场已被中微电子收入囊中，最近中微电子又喜获长江存储9台刻蚀机设备就是例证。

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要知道，高端芯片制造只有光刻机是不够的，刻蚀设备占据了芯片制造30%的工艺流程，没有刻蚀机的配套也是无法生产出高端芯片的。据悉国内芯片制造设备市场大约2000亿左右，在建的晶圆生产厂已达50多家，其中一部分为英特尔、三星、台积电的晶圆厂，大部分为国内厂商。刻蚀机不仅是芯片制造的关键技术，也是存储芯片制造的关键设备，由于由中微电子的支持，国内存储芯片厂商长江存储、合肥长鑫、粤芯等存储厂商才会发展迅速，否则存储芯片厂商也会受到刻蚀机的禁运而无法发展。

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中微电子之所以取得这样的成就，和公司的创始人尹志尧的努力是分不开的。尹志尧多年来一直从事半导体刻蚀机行业，虽说在美国衣食无忧，被称为硅谷最有成就的华人之一，但是在他的心中始终有一个未了的心愿，那就是报效国家。是的，在他的心中，学成归来的尹志尧现在到了报效国家的时候了，他毅然放弃国外的工作，带领30多人的团队冲破美国阻挠回归祖国，白手起家成立了中微电子。如今经过了10多年的发展，中微电子已经成为全球刻蚀机领域不可小觑的领军企业，拥有专利1200多项，是尹志尧让中国刻蚀设备不再受制于人，站上了全球科技前沿，可谓功不可没。