『柯基DOG玩机』国产光刻机还需要多久才能追上目前国际主流？，以目前的投入 ?以目前的投入

?以目前的投入，国产光刻机还需要多久才能追上目前国际主流？国产光刻机要想追上ASML高端光刻机的水平，还有相当长的路。不只是光刻机本身的技术问题，还有产业链的发展，人才经验的聚集，没有一、二十年光景很难追上。 ?光刻机市场玩儿得最为潇洒的就是荷兰ASML ，其几乎垄断了整个高端光刻机市场，而且单价相当不菲，高达上亿美元。而中端市场由日本尼康和佳能还能占据一部分份额，而中国国产光刻机主要是集中在低端光刻机市场。其中最为有代表性的国产光刻机企业，就是具有国产最好的90nm光刻机生产能力的上海微电子集团、具有200nm光刻机生产能力的合肥芯硕半导体和无锡影幻半导体。 ?

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当我们还在90nm上奋斗时，荷兰ASML已经在向5nm、3nm上挺进了，可见我们与国际高端之间的距离。为了缩短或者追上这样的距离，我们是否大量投入金钱就可以达到目的呢？可能还未必。

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首先，高端光刻机所需要的零部件产业链条，并不是在短期内就一定能够发展起来。高端光刻机高达3万甚至更多的零部件，之所以ASML能够发展起来，是其可以利用全球顶尖的零部件。比如来自于美国最为顶尖的光源、来自德国最顶尖的镜头、瑞典的轴承、法国的阀件等等。而这些最精密的零部件却对我们是关闭了大门的，这来源于西方对我们的封锁，最为出名的封锁就是《瓦森纳协议》。如果我们要发展整个产业链条，即使投入再大，没有一、二十年之力，要达到顶尖水平是相当困难的。

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其次，高端光刻机技术并非简单投钱就能够发展得起来。这些技术除了ASML自身研发之外，还与各大制造商家成为股东联合绑在一起，提供资金之外，还共同提供诸如制造工艺、制造技术、以及技术迭代等等，使得ASML能够一直保持在头部顶端。

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再次，整机研发制造人才、产业链人才、特别是工匠精神的缺失，也制约了光刻机和产业链的发展。比如镜片的磨制，像德国产业链上的工人，是穷其一生干一件事，甚至祖孙几代人干这一件事，把镜片做到了极致。另外光刻机的组装，要把几万个零部件组装起来控制在极小的误差，不只是技术问题，一样还有组装工人的工匠精神。技术可以传授，精神需要影响，单飞短时之功可以达到。

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【『柯基DOG玩机』国产光刻机还需要多久才能追上目前国际主流？，以目前的投入】不过虽有极大距离极大困难，但研发制造我们自己的高端光刻机是刻不容缓的事。光刻机研发一直在进行，并且实验上取得了不错的成绩，比如武汉广电国家技术研究中心采用二束激光及远场光学办法，成功刻出9nm线宽线段。另外在制造工艺及技术上，中芯国际也已经搞出了自己接近7nm的技术，国产光刻机和芯片制造技术虽然艰难，但终究在进步。