电子技术应用▲「业内热点」三星宣布将全面推进EUV工艺帮助量产DDR5内存随着制程节点迈入7nm

随着制程节点迈入7nm ， EUV极紫外光刻工艺将在未来的半导体芯片制造上成为主流。近日，三星宣布将率先为DRAM内存颗粒生产引入EUV工艺。

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三星表示，将从第四代10nm级（D1a）DRAM或高端级14nm级DRAM开始全面导入EUV ， 2021年大规模量产的DDR5和LPDDR5内存芯片将因此受益，预计会使12英寸晶圆的生产率翻番。
根据三星此前判断， EVU工艺将帮助其将制程节点推进到3nm ，那么在未来7nm、5nm制程节点上， EUV将发挥极大作用。
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