我国造光刻机的困境何在?世界的光刻机市场上有多个国家同台竞技 , 主要的品牌有ASML、Nikon、Canon、ultratech等等 , 但是要论高端光刻机 , 就只剩下ASML一家独大了 。它本身脱胎于飞利浦光刻设备研发小组 , 早期发展很艰难 , 但后期却异军突起 , 杀出重围 。
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ASML早期发展艰难 , 后期异军突起
目前 , ASML垄断了高端深紫外光刻机市场 , 是光刻机领域的龙头企业 。因此 , 想限制高端光刻机很容易 , 只要对ASML下手就可以了 。
而我们的高端国产光刻机之所以迟迟没有出现 , 主要是因为光刻机的制造没有大家想象中的这么简单 。虽然高新的技术可以通过不断地钻研学会 , 但是一台完整光刻机却包含10万多个零部件 , 并且这些零部件的5000家供应商遍布全球 。
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光刻机不仅零件诸多 , 供应商还遍布全球
这就意味着 , 现在想制造出“完全国产”的并不现实 , 就连著名的ASML公司其实都是承担了核心零件的生产 , 以及整体的装机工作而已 。
根据资料来看 , 光刻机当中的10万多个零件 , 需要按照功能和既定步骤组成若干组件 , 这些组件包括工作台、封闭框架、曝光组件等等 。然后又要按照光刻机的不同系统进行分类组装 , 比如光学系统、测量系统、传输系统之类的 。
除了以上两个关键之处 , 还有配套设施和后市场之类的 , 它们的存在让光刻机产业链非常的复杂 , 从而也使人们难以做到 , 制造出一个所有零件都自己生产的光刻机 。
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光刻机的产业链非常复杂
更不用说 , 中国的光刻机产业本来就处在起步“奋起直追”的阶段 , 想自己独揽所有零件的制作 , 无疑是痴人说梦的 , 并且想“偷学”些技术也很难 , 因为别人也很警觉 。
就算是ASML出售给中国的光刻机 , 仍然存在保留条款 , 比如说禁止给中国自主CPU代工 , 科研和国防领域的芯片只提供小批量生产 。
【光刻机多少钱一台 我国买到光刻机了吗-】综上所述 , 我国目前的国产光刻机整机交付的制造精度只有90纳米 , 对比高端光刻机还差得很远 。不过 , 这已经达到了常用的光刻水平 , 对于一些低端芯片的生产已经够用了 。
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中国能够整机交付的90纳米光刻机
当然 , 困难只是一时的 , 我们会不断地努力下去 , 试图早早解决光刻机零部件难以自己生产的问题 。那么 , 想尽早创造出更高端的光刻机 , 承包更多的高端零部件生产 , 中国应该怎么做呢?
中国应该怎么做?首先就是加大科研力度 , 在一定基础上建立起联合攻关机制 。
所谓的联合攻关 , 就是将高端科研机构和知名高校、相关企业等联结在一起 , 让他们之间进行友好的交流与合作 。毕竟人多力量大 , 如果可以集思广益的话 , 相关难题解决起来要容易一些 。
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建立联合攻关机制 , 集思广益解决难题
其次就是坚持自主研发 。虽然光刻机的零件实在是太多了 , 但是为了创造出真正的高端国产光刻机 , 我们还是要从零部件入手 , 慢慢钻研 , 掌握核心的科技 。在摸索出一条道路之后 , 还要特别注意在生产方面需要保持严谨 。
最后一点就是更深地融入全球产业生态当中 , 让中国也成为高端光刻机产业链中上游当中 , 一个不可或缺的存在 , 加强与其他企业之间的合作 。只有这样 , 我们才能不断地进步 。
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让中国光刻机零部件制造融入全球产业生态中
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