卧式扩散炉工作原理( 三 ) _什么是扩散炉

30.本实施例中，单根热偶丝1为u型结构。在第一连接套管51、第二连接套管52和第三连接套管53上均开设了两个通孔，以便于热偶丝1穿过，且两个通孔之间留有足够的间隙，以防止热偶丝1穿入连接套管的过程中出现粘连接触而短路失效。进一步地，多根热偶丝1的长度各不相等，且按照等差的方式顺序排列分布在保护套管4内部。多根热偶丝1将石英扩散炉划分为多个测温区，每一根热偶丝1负责一个对应的测温区的温度测量。
31.如图2所示，本实施例中，固定组件2包括固定端子21和固定接头22 。保护套管4的端部套设在固定端子21中，固定端子21与固定接头22卡接，以实现保护套管4与固定组件2可拆卸固定连接。进一步地，固定接头22内侧设有双层密封结构，用于实现固定接头22与固定端子21密封连接，即实现了保护套管4与固定组件2密封连接。通过接头连接的形式，简化了保护套管4与固定组件2之间的连接，提高了拆装的效率。
32.本实施例中，固定接头22上设有并排设有多个沉头孔23，沉头孔23用于插接热偶丝1的尾端。进一步地，固定组件2还包括弹性张紧装置24，弹性张紧装置24与沉头孔23连接，用于固定热偶丝1的尾端。具体地，保护套管4通过固定端子21与固定接头22上的双密封圈结构实现固定，利用固定接头22上的沉头孔23实现热偶丝1的定位和导向作用，沉头孔23的端面能实现控制热偶监测点相对于扩散炉石英管位置的作用；对于立式扩散炉而言，热偶的放置方向为竖直方向，在重力作用下能自动实现导向作用；在固定接头22内部，单根热偶丝1通过沉头孔23实现前端的固定，通过弹性张紧装置24实现后端的固定，保证热偶丝1与扩散炉石英管的相对位置不变，同时弹性接头24对于脆性的热偶丝1而言，在面对非正常
的抖动时，也能起到一定的保护作用。
33.本实施例中，通过将内热偶装置的热偶丝1、固定组件2、热偶电极3和保护套管4分开安装，并且采用接头连接的形式，实现了各个部件单独拆卸、便于维修。同时将单根热偶丝1的连接套管5设置成分段的方式，能折叠，且相邻的连接套管5之间通过重力作用即可实现贴合，实现了拆装方便、降低了安装难度的目的，大大减少了在拆装过程中所需要的空间，降低了拆装的难度，节约了时间，提升了整机的生产效率。
34.实施例2
35.如图1至图3、图5所示，本实用新型的用于立式扩散炉的内热偶装置，其结构设置与实施例1中的内热偶装置大致相同，区别点在于：单根热偶丝1为直线结构，具有拆装方便、便于维护的优点。进一步地，在第一连接套管51、第二连接套管52和第三连接套管53上均开设了通孔，以便于热偶丝1穿过，且热偶丝1的前端与第一连接套管51的前端焊接固定。
36.虽然本实用新型以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神实质和技术方案的情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。
填埋电极硅电池的制备工艺太阳能电池片的生产工艺流程
分为硅片检测——表面制绒——扩散制结——去磷硅玻璃——等离子刻蚀——镀减反射膜——丝网印刷——快速烧结等。具体介绍如下：
一、硅片检测
硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，因此需要对来料硅片进行检测。该工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线测量，这些参数主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹等。该组设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和四个检测模块。其中，光伏硅片检测仪对硅片表面不平整度进行检测,同时检测硅片的尺寸和对角线等外观参数；微裂纹检测模块用来检测硅片的内部微裂纹；另外还有两个检测模组，其中一个在线测试模组主要测试硅片体电阻率和硅片类型，另一个模块用于检测硅片的少子寿命。在进行少子寿命和电阻率检测之前，需要先对硅片的对角线、微裂纹进行检测，并自动剔除破损硅片。硅片检测设备能够自动装片和卸片，并且能够将不合格品放到固定位置，从而提高检测精度和效率。