智芯传感ZXP8微差压气体压力传感器是什么?( 二 )


手持式设备制造商正在逐渐意识到MEMS的价值以及这种技术所带来的好处——大批量、低成本、小尺寸,而且开始转向成功的MEMS公司,其所实现的成本削减幅度之大,将影响整个消费类电子世界,而不仅是高端装置 。MEMS在整个20世纪90年代都由汽车工业主导;在过去几年中,由于iPhone和Wii的出现,使全世界的工程师都看到运动传感器带来的创新,使MEMS在消费电子产业出现爆炸式的增长,成为改变终端产品用户体验以及实现产品差异化的核心要素 。
国内MEMS芯片(Die)供应商主要有:上海微系统所、沈阳仪表所、电子部13研究所、北京微电子所等,目前形成生产的主要是MEMS压力传感器芯片(Die) 。
MEMS技术的发展历史
MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初,当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器 。由于薄硅片振动膜在压力下变形,会影响其表面的压敏电阻走线,这种变化可以把压力转换成电信号 。后来的电路则包括电容感应移动质量加速计,用于触发汽车安全气囊和定位陀螺仪 。
第二轮商业化出现于20世纪90年代,主要围绕着PC和信息技术的兴起 。TI公司根据静电驱动斜微镜阵列推出了投影仪,而热式喷墨打印头现在仍然大行其道 。
第三轮商业化可以说出现于世纪之交,微光学器件通过全光开关及相关器件而成为光纤通讯的补充 。尽管该市场现在萧条,但微光学器件从长期看来将是MEMS一个增长强劲的领域 。
目前MEMS产业呈现的新趋势是产品应用的扩展,其开始向工业、医疗、测试仪器等新领域扩张 。推动第四轮商业化的其它应用包括一些面向射频无源元件、在硅片上制作的音频、生物和神经元探针,以及所谓的'片上实验室'生化药品开发系统和微型药品输送系统的静态和移动器件 。