急问氮化铝的制备、性质及用途( 二 )


应用
有报告指现今大部分研究都在开发一种以半导体(氮化镓或合金铝氮化镓)为基础且运行於紫外线的发光二极管,而光的波长为250纳米 。在2006年5月有报告指一个无效率的二极管可发出波长为210纳米的光波[1] 。以真空紫外线反射率量出单一的氮化铝晶体上有6.2eV的能隙 。理论上,能隙允许一些波长为大约200纳米的波通过 。但在商业上实行时,需克服不少困难 。氮化铝应用於光电工程,包括在光学储存介面及电子基质作诱电层,在高的导热性下作晶片载体,以及作军事用途 。
由于氮化铝压电效应的特性,氮化铝晶体的外延性伸展也用於表面声学波的探测器 。而探测器则会放置於矽晶圆上 。只有非常少的地方能可靠地制造这些细的薄膜 。
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氮化铝陶瓷的优势主要在哪方面?氮化铝陶瓷具有高热导率、高强度、高电阻率、密度小、低介电常数、无毒、以及与Si相匹配的热膨胀系数等优异性能,将逐步取代传统大功率LED基板材料,成为今后最具发展前途的一种陶瓷基板材料 。一般来说,LED发光效率和使用寿命会随结温的增加而下降,当结温达到125℃以上时,LED甚至会出现失效 。为使LED结温保持在较低温度下,必须采用高热导率、低热阻的散热基板材料和合理的封装工艺,以降低LED总体的封装热阻 。
氮化铝陶瓷综合性能优良,理论热导率为320W/(m),具有优良的热传导性,可靠的电绝缘性,低介电常数和损耗,无毒以及与硅相匹配的热膨胀系数 。
利用AIN陶瓷耐热耐熔体侵蚀和热震性,可制作GaAs晶体坩埚、Al蒸发皿、磁流体发电装置及高温透平机耐蚀部件,利用其光学性能可作红外线窗口 。氮化铝薄膜可制成高频压电元件、超大规模集成电路基片等 。氮化铝耐热、耐熔融金属的侵蚀,对酸稳定,但在碱性溶液中易被侵蚀 。AIN新生表面暴露在湿空气中会反应生成极薄的氧化膜 。利用此特性,可用作铝、铜、银、铅等金属熔炼的坩埚和烧铸模具材料 。AIN陶瓷的金属化性能较好,可替代有毒性的氧化铍瓷在电子工业中广泛应用 。
氮化铝陶瓷和氮化硅陶瓷哪个耐腐蚀性强一些?【急问氮化铝的制备、性质及用途】有关资料显示,氮化硅Si 3 N 4陶瓷基片弹性模量为320GPa,抗弯强度为920MPa,热膨胀系数仅为3.2×10 -6 /°C,介电常数为9.4,具有硬度大、强度高热膨胀系数小、耐腐蚀性高等优势 。由于Si 3 N 4 陶瓷晶体结构复杂,对声子散射较大,因此早期研究认为其热导率低,如Si 3 N 4 轴承球、结构件等产品热导率只有15W/(m·K)~30W/(m·K) 。但是,通过研究发现,Si 3 N 4 材料热导率低的主要原因与晶格内缺陷、杂质等有关,并预测其理论值最高可达320W/(m·K) 。之后,在提高Si3N4材料热导率方面出现了大量的研究,通过工艺优化,氮化硅陶瓷热导率不断提高,目前已突破177W/(m·K) 。
此外,与其他陶瓷材料相比,Si 3 N 4 陶瓷材料具有明显优势,尤其是在高温条件下氮化硅陶瓷材料表现出的耐高温性能、对金属的化学惰性、超高的硬度和断裂韧性等力学性能 。Si 3 N 4 陶瓷的抗弯强度、断裂韧性都可达到AlN的2倍以上,特别是在材料可靠性上,Si 3 N 4 陶瓷基板具有其他材料无法比拟的优势 。
而氮化铝AlN,是兼具良好的导热性和良好的电绝缘性能少数材料之一,氮化铝具备以下优点:
(1)氮化铝的导热率较高,室温时理论导热率最高可达320W/(m·K),是氧化铝陶瓷的8~10倍,实际生产的热导率也可高达200W/(m·K),有利于LED中热量散发,提高LED性能;