在薄膜声表面波器件中 ， 压电薄膜和非压电衬底形成了多层结构 ， 而声表面波传播特性则由压电薄膜和衬底的特性共同决定 。 即使用同一种压电薄膜材料 ， 当改变薄膜厚度和衬底材料时 ， 声表面波的声速、器件的中心频率及延迟时间、温度特性也随之改变 。 此外 ， 声表面波的有效机电耦合系数也随换能器电极结构和压电薄膜的厚度而变化 。
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