电子级|深入剖析电子级硫酸的“用武之地”！ |硫酸|硅圆片|集

_本文原题：深入剖析电子级硫酸的“用武之地”！
众所周知，电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂。目前广泛应用于大规模集成电路(IC)、半导体等微电子工业，用作清洗和蚀刻剂.随着中国微电子工业的高速发展，电子级硫酸的需求量日益增加，供不应求，电子级硫酸有着良好的应用前景.那么具体电子级硫酸的用途或者说用武之地到底在哪里呢？

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电子级硫酸主要应用于电子硅晶片生产过程的清洗和蚀刻。
硅圆片在加工过程中，常常会被不同的杂质所沾污，可引起大规模集成电路产率下降50%左右。硅圆片上不溶性固体颗粒或金属离子可能在微细电路之间导电，使之短路，几个金属离子或灰尘足以使线宽较小的大规模集成电路报废。

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Na、Ca等碱金属杂质会融进氧化膜中，导致耐绝缘电压下降。当硅圆片表面附着有Cu、Fe、Cr、Ag等重金属杂质时，会使P—N结耐电压降低，影响大规模集成电路电性能。硼、磷、砷等杂质离子会影响扩散剂的扩散效果，尘埃颗粒会造成光刻缺陷，氧化层不平整，影响制版质量和等离子蚀刻工艺。

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为了获得高质量、高产率的集成电路芯片，必须除去各种沾污物，这就需要使用非常纯净的化学试剂来清洗硅圆片，硫酸和过氧化氢按比例组成有强氧化性的SPM清洗液，在120～150℃下对硅片进行清洗时，可将金属氧化后溶于溶液中，并能把有机物氧化成CO2和H2O 。它还可用于光刻过程中的湿法蚀刻去胶，借助于化学反应从硅圆片的表面除去固体物质，导致固体表面全部或局部溶解。

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【电子级|深入剖析电子级硫酸的“用武之地”！】当下，电子级硫酸的核心技术主要还是被欧美等发达国家所左右，譬如，德国，日本，美国等国家，而且，这样的关键核心技术相关文献记载和报道又少之又少。能够拿下电子级硫酸生产项目的企业更是凤毛麟角，安阳市岷山环能高科有限公司作为一家高科技企业，有义务也有责任将国内的电子级硫酸生产发展壮大，作为集成电路制造业、封装测试业以及整机装配业原料供应的上游行业，高规格的电子级硫酸供不应求，安阳岷山环能高科有限公司应充分关注这一趋势，加强对电子级硫酸生产工艺技术的研究，适当引进国外的工艺和装置，早日生产出高规格、高附加值的产品，抢占国内外电子级硫酸市场，促进中国电子级硫酸工业的发展！