77年，光刻机技术座谈会在江苏吴县召开

光刻机研制：1977年，光刻机技术座谈会在江苏吴县召开吕西群编辑2020.07.201977年5月14～19日，受四机部委托，上海大规模集成电路会战组主持召开本次会议，出席会议的有来自全国光刻机研制、使用的42家单位代表共67人。

背景小资料：1974年《全国大规模集成电路及基础材料攻关大会战》的那些事--1974年9月，第一次全国大规模集成电路工业会议召开，国家计委在北京召开《全国大规模集成电路及基础材料攻关大会战会议》，拟定的目标是【1974～1976年期间，突破大规模集成电路的工艺、装备、基础材料等方面关键技术】四机部组织京沪电子工业会战，进行大规模集成电路及材料、装备研发，突破超微粒干板、光刻胶、超纯净试剂、高纯度气体，磁场偏转电子束镀膜机等材料、装备。1975年12月，第二次全国大规模集成电路会议在上海召开。1977年1月，第三次全国大规模集成电路会议在贵州召开。于是才有了80年前后，中科院系统、电子部系统、地方各研发单位光刻机成果的第一次大爆发。