科技日报|国内首个自主开发180nm成套硅光工艺PDK在渝发布

???科技日报采访人员?雍黎
5月30日，位于重庆高新区的联合微电子中心有限责任公司发布“180nm（纳米）成套硅光工艺PDK（制程设计工具）” ，这是我国首个自主开发的180nm 成套硅光工艺。
硅基光电子是研究和开发以光子和电子为信息载体的硅基大规模集成技术，能够大大提高集成芯片的性能，是大数据、人工智能、未来移动通信等新兴产业的基础性支撑技术。目前，正大力发展的大数据中心、5G、物联网等产业，对硅基光电子技术需求非常迫切。
硅光芯片是将硅光材料和器件通过特殊工艺制造的集成电路，主要由光源、调制器、探测器、无源波导器件等组成，将多种光器件集成在同一硅基衬底上。硅光芯片的具有集成度高、成本低、传输带宽更高等特点。硅光芯片有着非常可观的前景，尤其是在5G商用来临之际，企业纷纷加大投入，抢占市场先机。包括英特尔、比利时IMEC、新加坡AMF、格芯半导体等都具备了硅光芯片的研发和制造能力。

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1800nm成套硅光工艺发布会现场。
联合微电子中心有限责任公司（CUMEC公司）执行董事、总经理韩建忠博士介绍，位于重庆高新区的联合微电子中心，从2018年10月成立， 2019年9月实现8英寸硅基光电子技术工艺平台的通线。此次正式向全球隆重发布“180nm成套硅光工艺PDK” ，标志着公司具备硅基光电子领域全流程自主工艺制造能力，开始向全球提供硅光芯片流片服务和EPDA设计服务。此次发布的硅光PDK ，创造了我国硅光领域从建线到发布PDK——具备对外流片能力的最快纪录。
“?PDK是设计公司用来做物理验证的基石，也是流片成败关键的因素。 ”联合微电子中心副总经理郭进博士表示，此次发布的PDK提供了齐备的硅光基础器件库，支持设计自动化流程，为用户提供可靠且灵活的设计平台，助力用户开发更复杂芯片，支撑高速光互连、激光雷达、生物医药等多个应用方向，可以广泛用于5G和数据中心、无人驾驶和机器人等场合。
比利时皇家科学院院士、根特大学Roel?Baets?教授表示，硅基光电子技术发展今天已经相当成熟，基于硅光技术的光模块出货量已经达到数百万个。不过硅光发展也面临一些挑战，第一个难关即PDK（制程设计工具）。相比集成电路工业无比成熟的PDK ，硅基光电子领域的PDK还在发展的早期，联合微电子中心发布的PDK是硅光领域的一大进步。
重庆市高新区管委会副主任林金朝表示，近年来，重庆市高新区依托光电子和微电子器件及系统，国家创新基地在硅基光电子领域率先布局，设立了联合微电子中心，在科研基地、研发平台、人才团队、全流程封装工艺等方面加大投入，初步具备了人才聚集能力、重大创新任务承接能力、公共创新平台支撑能力和对外流片加工工艺能力，有助于完善重庆市集成电路产业链条，优化集成电路产业体系。
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